一种新型加速度传感器的研制.pdfVIP

史建伟陈德英 (东南冀等墩电子中心，南京，210096) ^ 摘要本文介绍了—种新型的扭摆式加速度传感器，应用隧道电流对隧道电极间距离的 商皤嚆性，采取检测电Ⅸ啪方式，较以往懒赡舫祛具有灵敏度高、频率范围宽绰酾董。应 用体硅加工技术和硅——玻璃键台技术制备，文章介绍了隧道加速度计的工作原理、设计 t 思路、及弗l恪步骤。 利用硅微机械加工技术制造的具有高分辨率的加速度传感器可以广泛应用于自动控 制、导航、汽车防震保护、水声测量、以及地震学等方面。相对于以往的机械式加速度计具 有体积小、长时间工作精度低高等睁点。自从s血曲idIf】1％r删ci∞斑Lab0咖于1978 年首次研制成功微加速度计后，一些研究机梅和佣电容、压阻、电感、热、光、谐振等物理 效应来感知器件内部单元的相对位移。 徽锨耵聊以_|舌【”，—些研究机十钳艮据STM的原理利用隧道电流对电殴1强；变化的自酾§性， 进行了大量隧道位移传感器的研究，制成一系列的隧i勤口速度