扫描电镜用于微米、纳米尺度的测量及其标准化探讨.pdfVIP

电子显微学报J．Chin．Eleetr．Micm∞．so。 138 25(增刊)：137—1382006年 近年来，国外从科研机构到相关公司都非常重 准化技术委员会的审查”1；一套最小尺度为1,am的 视可用于图像系统放大倍率校准的微米、纳米尺度 标准样板也已研制完成，并已完成了均匀性、稳定性 的标准参考物质的研制。美国NIST、德国FIB、英国 检查和量值的标定工作”1。亚微米级的标准样板也 NPL、俄联邦GOSTR及日本JQA都已经发布了多个 正在研制之中。 不同线距的标准参考物质。国外许多公司，如美国 至此，我国实际上已初步具备了扫描电镜作为 的vLSI标准公司、PELCO公司、德国的VEECO公 长度计量器具的三个基本条件。但遗憾的是，这些 司、NANOSENSORS公司、英国的Agar公司、日本的工作因种种原因而未受到应有的重视并推广使用， HITACHI公司等也研制出了一些可用于扫描电镜图未能产生较好的科研效益和经济效益。回顾并分析 像放大倍率校准的实物标准。1999年我国曾发布其问题的关键所在，我们认为有以下三个方面的原 了一个扫描电镜的微米级长度标准块，其中发布的 因：(1)缺少大量的分析实践和研究报告的发表；(2) 标准为线距约2／zm的平行线和线距约lOtnn的方栅国内目前所用的扫描电镜长度标准器不尽如人意； 格，但由于种种原因未能得到推广使用。我们从 (3)在计量管理方面的一些模糊认识限制了扫描电 2003年开始，在国家科学技术部的支持下，开展了镜测长标准化工作的积极性。 一项有关微米、纳米长度测量的某些标准方法和标 参考文献： 准参考物质的研究，其中扫描电镜图像放大倍率校 【1]姚骏恩．中国工程科学，2003，5(1)：33—38． 准用的标准样板研制是一项重点研究内容。由于不 同放大倍率范围需要不同长度的标准样板，我们设 481． 计了一套从百微米一十微米，微米级以及亚微米一 191． 百纳米级的三个系列的标准参考样板，可用于扫描 [4]周剑雄，陈振宇扫描电镜测长问题的讨论．成都：电 电镜图像放大倍率的校准和微米级到纳米级物体长 子科技大学出版社．2006． 度的比对测量”1。其中一套12．5／ma、25“m和百微 米尺度的三种栅网标准样品已通过全国微束分析标 扫描电镜用于微米、纳米尺度的测量及其标准化探讨 作者： 陈振宇， 周剑雄 作者单位： 中国地质科学院矿产资源研究所,北京,100037 本文读者也读过(10条) 1. 唐圣明 扫描电镜低加速电压成像技术[会议论文]-2008 2. 张训彪.卢德生.邓保庆.桂娟.Zhang Xunbiao.Lu Desheng.Deng Baoqing.Gui Juan 纳米级长度扫描电镜测量的 现状和展望[期刊论文]-上海计量测试2007,34(2) 3. 秦玉文.余显斌.樊海波.郭广平 细观力学纳米测量技术中的外差云纹干涉法[会议论文]-2000 4. 吴平霄.张惠芬.郭九皋.WU Ping-xiao.ZhANG Hui-fen.GUO Jiu-gao 原子力显微镜在粘土矿物学研究中的应用 [期刊论文]-地球科学进展1998,13(4) 5. 吴新民.范茂松.潘兮.Wu Xinmin.Fan Maosong.Pan Xi 纳米颗粒的粒径测定[期刊论文]-电子测量与仪器学报 2004,18(z1) 6. 向东.王青玲.柳金凤.何开华.XIANG Dong.WANG Qing-ling.LIU Jing-feng.HE Kai-hua 在扫描隧道显微镜实验 中开展研究性学习[期刊论文]-实验