超纯气体纯化设备的研发应用.pdfVIP

超纯气体纯化设备的研发与应用 侯 鹏 付启贵 李文强 赵霖 高 嵩乐韵 皮山丹 邱长春 大连中鼎化学有限公司，辽宁大连116039 摘要：介绍了采用催化氧化、化学吸附、物理吸附、吸气剂等技术联用，对氮气、氢气、氩气等进行超纯气体 纯化的系列新工艺。该系列工艺配合使用洁净管道、管件、阀门、洁净施工，所生产出的纯化器产气纯度可达 8N以上，各种有害杂质均小于1ppb，确定了所开发的氮气、氢气、氩气纯化工艺产气指标、抗波动能力及适 用性均可满足半导体行业发展需求。 关键词：氮气纯化;氢气纯化;氨气纯化；纯化器；气体纯化 I脱氧吸附刑， 原来在低浓度 匣性强。经相乡 酷质是02,H20、CC 『料，为降低吸气剂白 ：预处理，脱 f，大幅度降