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背压氦离子气相色谱系统
在高纯气体分析中的应用
杨任1杨四川2王涵文1
1.上海仪盟电子科技有限公司 2.宝钢集团环境分析检测中心
摘要：介绍了一种新型的利用背压气相色谱系统和氦离子化检测器(PDHID)来对高纯气体中痕量杂质的检测
方法。经过实验证明，该方法能够提高分离度和氦离子化检测器的灵敏度，其检测限达到0.45ppb（以甲烷计），
目前市场上商品化高纯气体检测方法提高了近一个数量级，可以轻松应对7N级以上高纯气体产品的分析。
关键词：背压气相色谱；氦离子化检测器；高纯气体分析
盛度条件下，可以j
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比学，1997(3).
分析化学，1991
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