金刚石工具在高新行业及应用.pdfVIP

金刚石工具在高新行业的应用 蓝敏雄“2陶俊贤。陈亲旗。 1 台湾钻石工业殷份有限公司 2 日本旭钻石工业株武会社 摘要：近年来空剐石工具的应用避渐从转统产业扩展卿禹新行业。由于诸}高新行业曲僦品所 使用的材料属于南单价的硬肫材料．同时加工精度要求也高，因此需要使用高救能高精度的尘利石工 巽。本文特介绍集成电路“硅”片、太阳电池“单、多晶硅”、LED蓝宝{基扳、1TT-LcD液晶玻璃加工流 程中各工程所使用之金剐石工具。 关键词：金刚石工具高新行业硅片单晶硅；晶硅蓝宝；液晶琉璃 0引言 一般所谓的高新产业包括电子、信息、光电、生物、材料、自动化和能潦等。在高新行业所生产的制 品，经常是属于高精度和高技术性的。 在高新行业中使用之材料．经常属于高单价的材毒}，例如单晶硅、多晶硅和蓝宝石。“硅”是一种存 在于地壳巾仅次于“氧”的元紊．其特性为硬脆，莫氏硬度65，可依需要制作成单、多晶硅．广泛使用在 集成电路基撮、玻璃、建材等。绿色能源亦使用其做为太阳能电池。。蓝宝石”成分为Al：0，，莫氏硬度9． 仪次于钻石的单结晶体．在高新行业中，多做为LED发光组件的基撮