常见几种金属的电化学抛光.pdfVIP

Electr0plating PollutionControl 常 见 几 种 金 属 的 电 化 学 抛 光 王文忠 (洛 阳立微 电子公司 ，河南 洛 阳 471003) 中图分类号 ：TG 175 文献标识码 ：B 文章编号2013 形成溶解度小、黏度大、流动慢 的磷酸盐 ，在阳极附 0 前 言 近积累和吸附形成黏膜 。这层黏膜的导 电性差，在 电化学抛光 (简称 电抛光)是金属工件表面进行 阳极 (T件)表面分布不均匀，微观凸起处的黏膜较 精整加丁的重要方法之一 。它是以工件作为电解槽 薄 ，而微观凹洼处 的黏膜较厚 。凸起处的电流密度 的阳极 ，用耐电解液腐蚀的金属材料铅或不锈钢作 大，阳极溶解快；凹洼处的电流密度小，阳极溶解慢 。 阴极 ，在直流电作用下，使工件表面粗糙度降低并产 随着抛光过程 的进行 ，金属表面变得平 整而光亮 。 生光泽外观的一种特殊的阳极过程。电抛光可以作 黏膜形成并附着在 阳极表面，从而实现电抛光的过 为金属镀前的准备T序，也可作为对金属件独立加 程就是黏膜理论的主要 内容。 T的T艺。例如 ：模具型腔 电抛光后可以增加硬度 ， 2 电抛光溶液的成分及工艺条件的影响 降低粗糙度 ，减小摩擦因数；电子高频器件电抛光后 可 以降低高频损耗 。对于难 以用机械抛光达到要求 2．1 电抛光溶液 的影响 及形状复杂的金属制品，电抛光更是显得重要 。目 目前在生产 中应用最广泛的是 H。P()一H S()一 前电抛光还存在着成本高、使用寿命短，以及对不 同 CrO。体系的电抛光溶液，其次还有 以高氯酸为主的 的金属很难找到一个通用的电抛光溶液等不足，这 电解液 。后者 由于 电压高 、易燃 、升温快 ，因而应用 在很大程度上制约了其应用的广泛性 。 较少 。根据 电抛光 的原理推知 ：磷 酸可与金属离子 形成黏度大、扩散系数小的物质，有利于阳极表面薄 1 电抛光 的基本原理 膜的形成。磷酸对金属 的化学溶解较小 ，抛光 的电 电抛光过程中，工件表面发生如下反应 ：(1)阳 流密度下限较低。硫酸的加人有利于提高电解液的 极金属发生 电离 ，以离子状态转移到溶液 中；(2)工 导电能力 ，改善分散能力和提高电流效率 ，加快整平 件表面生成氧化膜 ；(3)气态氧气析出；(4)溶液 中 作用 。对铝及其合金还有利于减少表面的化学腐 的其他物质被氧化 ，生成某种气体物质及其盐类。 蚀。但对于钢铁件，硫酸的质量分数高对丁件表面 从 阳极反应 中可 以看出：电抛光时工件表面有 有较强的腐蚀性 ，并与 CrO。形成 CrO SO。沉淀 氧化膜生成而使其表面钝化，但钝态 的氧化膜在 电 而降低钢铁表面的光泽。铬酐的加入有利于钢铁表 解液中不断溶解 。也就是说，在整个抛光过程 中氧 面氧化膜的形成 ，使_f=’件表面钝化 ，减少金属的化学 化膜不间断地进行着两个过程——生成和溶解 。从 浸蚀 ，有利 于金属表 面光 亮度的提高。由于 Cr()。 微观上来看 ，工件表面凹凸很不均匀 ，而且凸起处的 沉淀析出会使金属表面光泽降低 ，有时在抛光液 中 金属表面较凹洼处的活泼。再