基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量.pdfVIP

第 23卷 第 3期 光学 精密工程 Vo1．23 No．3 2015年 3月 0pticsandPrecisionEngineering M ar．2O15 文章编号 1004—924X(2015)03—0645—07 基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量 王永红 ，冯家亚，王 鑫，刘 佩，李骏睿，杨连祥 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥 230009) 摘要 ：为 了精确、实时地测量物体表面的动态形变 ，提 出了基于狭缝光 阑的空间载波剪切散斑干涉系统 。该系统通过倾 斜迈克尔逊干涉仪的一个平面镜来产生剪切量和载波频率，实现空间频谱的移动；采用一个可调节的狭缝光阑控制散斑 大小和空间频谱宽度。基于傅里叶变换与反变换在空间频率域上提取所需的频谱并计算相位图，最后通过一幅干涉条 纹图得到相位分布信息。采用该系统对一个 中心加载、四周 固支的薄铝板进行 了动态测量 ，分析 了光学系统参数对测量 结果的影响。结果表明，采用像素尺寸为4．65 m×4．65 m 的高分辨率相机，焦距为8mm的成像镜头，设置剪切量为 25mm，狭缝光阑X方 向的尺寸为 1mm 时，可得到高质量 的剪切散斑相位 图。该方法可 以在25frarne／s的采集速度 下，以43．6。的视场角实现动态形变的测量 ，可测形变峰值为0．5～3Ogm。 关 键 词 ：剪切散斑干涉术 ；空间载波相移 ；傅里叶变换法 ；迈克 尔逊干涉仪 ；狭缝光 阑；动态形变 中图分类号 ：0436．1 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE0645 Shearingspeckleinterferometrybasedonslitaperture fordynamicmeasurement WANG Yong—hong ，FENGJia—ya，WANG Xin，LIU Pei，LIJun—rui，YANG Lian—xiang (SchoolofInstrumentScienceandOpto—electronicsEngineering， HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China) *C0rjrPs0 gauthor，E-mail：yhwang(hfut．edu．cn Abstract：Tomeasurethedynamicdeformationofanobjectsurfaceinrealtimeaccurately，thispaper proposesaspatialcarrierphase—shiftingshearingspecklesystem basedonaslitaperture．A Michelson interferometerwasusedtogenerateashearingdistanceandaspatialfrequencyshiftbytiltingasmall angleinoneofthetwOmirrors．A slitaperturewasusedtocontrolthespecklesizeand thespatial sDectralwidth．TheFouriertransform and inversetransform wereapplied toaccuratecalculationof thephaseand to obtain thephasedistribution byusingonlya singleimage．Finally，the shearing sDeckle svstem wasused to measure the dynamic deformation ofa circumferentially fixed thin aluminum platewith a pointload atthe center．The effects ofopticalsystem parameters on the measuringresuitswereanalyzed．Theex