Y128°LiNbO-%2c3-上的单指无内反射叉指换能器与滤波器的实验研究.pdfVIP

Y128。LiNb03上的单指无内反射叉指换能器和滤波器 的实验研究 何世堂徐方迁 (中国科学院声学研究所北京100080) 1 FilterwithnoInternal and The Electrode Transducer Single Interdigital Y128。LiNb01 on Reflection He Xu ShitangFangqian (Institute Chinese 100080) ofSciencesBeijing Academy ofAcoustics,The 1、引言 叉指换能器的指间反射是影响声表面波器件性能的主要二阶效应之一。分裂指结构使反射 问题得到较好的解决。但分裂指结构在相同的工艺下所能达到的最高工作频率比单指结构降低 了一倍，因此不少学者试图寻求一种用单指结构抑制反射的方法【1,2,3】。1985年陈东陪和Haus[4】 运用变分原理与藕合模理论相结合，统一分析了金属栅阵各种反射机制对反射信号的贡献。我 们进一步将这一理论推广到各向异性晶体的实际情况，具体分析了各种栅阵的反射特性，在此 基础上提出了各种可能的无内反射叉指换能器结构。对其性能优劣进行了分析。并对YZ．LiNb03 上的金反射栅和ST石英上的沟槽填铝反射栅进行了实验研究，证实了YZ．LiNb03上的金单指 结构不可能实现完全无内反射的结构。正确给出了sT石英上沟槽添铝单指无内反射结构的参 数，并将此结构成功地应用于滤波器的设计中【56】。 本文将在此基础上，对128。旋转Y切，x传LiNb03基片上的短路铝栅条的反系数随模厚 的变化进行实验研究，得出了无内反射的条件。并将此结果应用于滤波器的设计中。 2、反射系数的实验研究 按照我们的理论结果151，128。旋转Y切，x传LiNb03基片上的单根短路铝栅条的反射 系数为(rl=0．5) 厶 ’ 厂=0．24一gl,一0．0204n1 一 兄 为了验证这～理论结果，我们采用短路脉冲测量方法测量反射系数，测量了Y128。LiNb03 上铝栅条构成的短路栅阵的反射系数随膜厚籁警， 。 。 。 ， ， 。 ． ：。 的变化关系。实验结果如图1所示，图中理鬟．：I | { ： ! l I l l 论曲线根据(1)式画出。从图中可见，反射呕嘎醛之■丁—『__1—】州 系数幅度在一定的范围内随膜厚的增加而减 暑}．≥～i．二辛=辛￡￡：#—L_一，‘ 小，这一趋势与理论预计一致，从实验上验 j j j ；。K { l妄霹叫＼l 证了Y128。LiNb03上的铝单指结果确实可 鼍r—r—T事下忑#了r—r—1_。刁 以实现无内反射。