半导体激光气体浓度分析仪技术原理及其在石化化工行业及应用.pdfVIP

第六届全国石油和化学工业仪表及自动化技术交流研讨会论文集 半导体激光气体浓度分析仪技术原理 及其在石化化工行业的应用 邓建友 聚光科技(杭州)有限公司 浙江省杭州市 310052 摘要t半导体激光吸收光谱气体浓度分析仪器可现场在线分析工业过程气体浓度，具有响应速度快、不受背景气体和粉尘影 响以及恶劣工业环境适应能力强等突出优势。本文介绍了半导体激光吸收光谱的技术原理、半导体激光分析仪的结构及其特 点，并列举了其在催化裂化等石化化工过程中的应用。 关键词，半导体激光吸收光谱；激光分析仪；气体浓度分析 l半导体激光吸收光谱技术原理 Laser 半导体激光吸收光谱技术(DiodeAbsorption 世纪70年代提出。在初期DLAS技术只是一种实验室研究用技术，但随着半导体激光技术在20世纪80年 代的迅速发展，DLAS技术开始被推广应用于大气研究、环境监测、医疗诊断和航空航天等领域。特别是 20世纪90年代以来，基于DLAS技术的现场在线分析仪表已逐渐发展成熟，与非色散红外、电化学、色谱 等传统工业过程分析仪表相比，具有可以实现原位测量，无需采样和预处理系统，测量准确、响应速度快， 维护工作量小的显著优势，在工业过程测量和污染源的监测领域发挥着越来越重要的作用。 ，’ 与传统红外光谱技术相同，DLAS技术本质上是一种吸收光谱技术，通过分析光被气体的选择吸收来获 得气体浓度。但与传统红外光谱技术不同，它采用的半导体激光光源的光谱宽度远小于气体吸收谱线的展 宽。半导体激光的强度噪音是限制吸收光谱气体分析技术检测灵敏度的主要因素，它呈现出明显的1／f特 性。调制吸收光谱技术使用相敏检测技术抑制噪音带宽并把检测频率移到噪音较低的较高频率处，从而可 以实现较高的检测灵敏度。 该技术使用较高频率正弦波来调制激光器的工作电流，调制后激光频率为口1： ，(f)=V(t)+acos(2zfl) (3) 式中V【fJ表示未加正弦波调制的激光频率，a是正弦波电流调制所引起的激光频率变化幅值，，为正弦 波调制频率。由式(3)和式(1)可得： (4) ，(f)=Io(t)T(V(t)+acos(2zft)) (5) =J0(f)∑Htif(t)，a)eos(k2zfl) ^=o 式(5)对正弦波调制后的气体透过率作谐波分解，各谐波分量均反映了气体吸收谱线的透过率信息。由 于谐波信号幅度随着谐波次数的增加而减少(图1)，一般使用一次或二次谐波信号来测量气体的透过率。 另外，由于二次谐波上的直流偏置比一次谐波小很多，且二次谐波信号的峰值与吸收谱线中心重合，DLAS 仪器普遍通过测量二次谐波信号来检测气体浓度： 2(瓦口) S2，“IoH COS(2u胁 (6) cos(训X 咄砉￡T【T+a ：Io{S(T)_PXL．广g【矿一y。+4c。s(“)Ixcos(2“)d“l(7) 401 攸器怔表＆应¨ 其tI试f7)在，』、吸收情况F成口，对于某特定气体吸收谱线＆特定耳境条件慵＆度、压力和气体组成J 和激光频率调制幅度口F，式f71中花括号匀珂只是激光频率i的晒数，加嘲(I J中欢谐波波形所示；由式 (7)司懈气体浓度x： r X=K半 ’．| 18