超短脉冲照射下氟化锂的烧蚀机理和其超快动力学研究.pdfVIP

第五届全国光子学大会会议论文集 第六分册：瞬态光学与高速摄影 超短脉冲照射下氟化锂的烧蚀机理及其超快动力学研究 1 李晓溪 、贾天卿、冯东海、孙海轶、徐世珍、李承斌、徐至展 中科院上海光学精密机械研究所强光光学实验室，上海，201800 摘要：本文利用烧蚀面积与激光脉冲能量的线性关系确定了氟化锂的破坏阈值，同时研究了 800nm 超短脉冲激光作用下氟化锂的破坏阈值对激光脉宽的依赖关系，利用雪崩击穿模型，解释 了实验结果，并探讨了氟化锂的烧蚀机理。利用泵浦-探针超快探测平台，研究了氟化锂破坏过程 中导带电子密度的变化过程，并讨论了导带电子光吸收机制。 关键词：飞秒激光，氟化锂，破坏阈值，雪崩模型，超快动力学 0．引言 随着激光技术的快速发展，超短脉冲激光与透明介质的相互作用已经成为一个实验和理论研 究广泛关注的课题 [1-5]。人们研究发现在长脉宽领域，材料的烧蚀阈值与脉宽的二分之一次方成 正比，并推出激光烧蚀主要由热传导过程控制 [6，7]。但是在超短脉宽领域内，实验发现了较大 的偏离：随着脉宽的减小，有的实验小组发现阈值增大 [6]；有的实验小组发现阈值缓慢变小 [8]， 并推断材料是由雪崩击穿导致破坏的。因此，研究材料的破坏阈值与脉冲宽度的依赖关系对于说 明激光对材料的烧蚀机制具有重要意义。氟化锂透明材料作为一种重要的窗口材料，受到了人们 广泛的关注。但是在超短脉冲领域内氟化锂的烧蚀阈值与脉宽的依赖关系还没有报道。同时对于 氟化锂前的烧蚀过程，人们还没有明确的认识。 1．实验安排 实验采用钛蓝宝石激光器，输出波长 800nm、脉宽45fs。线偏振激光透过半波片，再由偏振 片反射，通过旋转半波片可以得到0～0.7mJ 连续改变的脉冲能量输出。采用非线性光学玻璃（ZF6） 对脉宽进行展宽，可以得到从45fs 到 800fs 之间变化的不同脉宽。激光经过凸透镜聚焦后照射在 材料的前表面，束腰半径ω0 约为 14μm。氟化锂样品为直径 10mm，厚度 1mm 的圆片，双面抛 光，表面的平均粗糙度约 10nm。我们利用扫描电镜和原子力显微镜对不同能量的脉冲激光照射下 样品表面的烧蚀斑进行了测量，以确定其绝对烧蚀阈值。采用原位散射光探测法我们测量了材料 的烧蚀阈值与脉宽的相对依赖关系。同时，利用泵浦-探针平台，我们探测了烧蚀过程中氟化锂晶 体内导带电子的变化过程。 2 .结果和讨论 2.1 烧蚀形貌 已有的研究表明，在皮秒激光领域，当激光强度很低时，材料表面出现轻微的烧蚀斑，当激 光强度较高时，表面会形成粗糙的烧蚀坑。并由此提出了“轻微”烧蚀（“gentle ablation”）和“重” 烧蚀（“strong ablation”）的概念。在飞秒激光领域，我们观察到了类似的情形。如图所示：图 1 给出了一个典型烧蚀坑的形貌。烧蚀坑的边缘就是类似“轻微”烧蚀的现象，而中央就是明显的 “重”烧蚀形貌。在图2 的烧蚀侧面图中我们在烧蚀坑的底部观察到条纹的出现，我们认为这是 1 李晓溪：tel: 021 E-mail: lxxbrooklet@163.com 17 第五届全国光子学大会会议论文集 第六分册：瞬态光学与高速摄影 在烧蚀末期能量波动以及激光线偏振性等因素引起的。利用原子力显微镜我们得到了材料的烧蚀 体积对激光强度的依赖关系。实验发现，在激光能量稍高于烧蚀阈值时，材料的烧蚀体积迅速增 加，S.Guizard 等也观察到了类似的现象[9]。随后，材料的烧蚀体积与激光强度近似成线性关系。 ) m µ (