制半导用水的超纯水设备工艺流程资料下载.pdfVIP

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制半导用水的超纯水设备工艺流程资料下载.pdf

制半导用水的超纯水设备工艺流程资料下 载 一、 半导体材料超纯水设备概述 半导体是在常温下导电性能,在导体和绝缘体之间的物质。 随着科技的发展,半导体材料在各行各业的应用越来越广泛,超 纯水设备是半导体行业不可缺少的设备之一,超纯水设备是利用 阴、阳离子膜,在阴、阳离子膜中间用对称堆放的形式夹着阴、 阳离子树脂,在直流电压的作用下,进行阴、阳离子交换。而同 时,水在电压梯度的作用下会发生电解,产生大量H+和OH-,这 些离子对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生,使得纯水 度越来越高,产生了高纯度的高纯水的设备。 技术资料来源于莱特莱德哈尔滨超纯水设备工程公司 二、半导体材料超纯水设备性能优势 1、产水水质高且稳定、连续。 2、不会因再生而停机。 3、操作简单、安全。 4、不需酸、碱化学药剂再生。 5、无污水排放。 6、占地面积小。 7、运行费用低于混床。 8、容易实现全自动控制。 三、半导体材料超纯水设备工艺流程 1、原水箱 原水箱是用来储存原水,设置有液位开关,防止无水损坏增 压泵,以及预处理罐。原水箱一般采用PE 水箱,或不锈钢材质。 2、絮凝加药 絮凝剂主要是带有正(负)电性的基团中和一些水中带有负 (正)电性难于分离的一些粒子或者叫颗粒,降低其电势,使其处 于不稳定状态,并利用其聚合性质使得这些颗粒集中,并通过物 理或者化学方法分离出来。 3、原水泵 原水泵;顾名思义从原水箱内将水抽到预处理内,经过预处 理在进入反渗透。 4、多介质过滤器 它是利用石英沙作为过滤介质,在一定的压力下把浊度较高 的水通过一定厚度的粒状或非粒的石英砂过滤,有效的截留除去 水中的悬浮物、有机物、胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重 金属离子等,最终达到降低水浊度、净化水质效果的一种高效过 滤设备。 5、活性炭过滤器 活性炭过滤器的作用主要是去除大分子有机物、铁氧化物、 余氯。这是因为有机物、余氯、铁氧化物易使离子交换树脂中毒, 而余氯、阳离子表面活性剂等不但会使树脂中毒,还会破坏膜结 构,使反渗透膜失效。 6、阻垢剂 是指具有能分散水中的难溶性无机盐、阻止或干扰难溶性无 机盐在金属表面的沉淀、结垢功能,并维持金属设备有良好的传 热效果的一类药剂。冷换设备防腐阻垢剂以环氧树脂和特定氨基 树脂为基料,加入适量的各种防锈、防腐等各种助剂配制而成, 为单组分。它具有优异的屏蔽、抗渗、防锈性能、良好的阻垢、 导热性,优良的耐弱酸、强碱、有机溶剂等性能,它的附着力强, 且膜层光亮、柔韧、致密、坚硬。 7、精密过滤器 主要用在多介质预处理过滤之后,反渗透、超滤等膜过滤设 备之前。用来滤除经多介质过滤后的细小物质(例如微小的石英 沙,活性炭颗粒等),以确保水质过滤精度及保护膜过滤元件不 受大颗粒物质的损坏。 8、高压泵 高压泵用于反渗透供水,高水压将水打入反渗透膜中,从而 达到反渗透分离作用。 9、反渗透膜 原理是在高于溶液渗透压的作用下,依据其他物质不能透过 半透膜而将这些物质和水分离开来。反渗透膜的膜孔径非常小, 因此能够有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等。 10、紫外线杀菌器 紫外线是一种肉眼看不见的光波,存在于光谱紫射线端的外 侧,故称紫外线。紫外线系来自太阳辐射电磁波之一,通常按照 波长把紫外线分为四类如下 是物质运行的一种特殊形式,是一粒粒不连接的粒子流。每 一粒波长253.7nm 的紫外线光子具有4.9eV 的能量。当紫外线照 射到微生物时,便发生能量的传递和积累,积累结果造成微生物 的灭活,从而达到消毒的目的。当细菌、病毒吸收超过 3600~65000uW/c ㎡剂量时,对细菌、病毒的去氧核醣核酸(DNA) 及核醣核酸(RNA)具有强大破坏力,能使细菌、病毒丧失生存力 及繁殖力进而消灭细菌、病毒,达到消毒灭菌成效。紫外线一方 面可使核酸突变、阻碍其复制、转录封锁及蛋白质的合成;另一 方面,产生自由基可引起光电离,从而导致细胞的死亡。 11、EDI 设备 EDI,又称连续电解除盐技术,它科学地将电渗析技术和离 子交换技术融为一体,通过阴、阳离子的选择透过作用以及离子 交换树脂对水中离子的交换

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