等离子体物理实验开设的初步探讨.pdfVIP

2007年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会论文集 343 链跫、DH20l(1型多功能真空实验仪等等离了傩化学气柏沉祀制备功能材刳培有代表性的成 粜趋莉备盒剐石薄膜．利用睦技术小仪实现了台剐石的低温低气监台jJ兑，而且槛k地拓展了 人工合成金剐石的应用范围通过上述实验项目的开设．有助于学生了解等离子体的高反麻活 性在材料台成中的应用(3J开设等离子体在微电于领域的应用实验项H．包括等离子体在 微电子加工应用的实验、等离子体在光学膜系制备的实验等如材料的表面改性、等离子体刻 型电子回旋菇振等离了体装置、DHBP-1型电子柬蔫发键膜装置等离子体拄术已成为现代馓 电子领域一个关键的加[技术，通过上述实验项目的开设．可以让学生了解等离子体技术在 微电子钮域ff勺应用与作用，掌握有着广泛市场需求的等离子体表丽改性技术的原理(4)Jf 设等离子体在环境、能源领域的应用实验项目，包括等离子体在]．业废气处理中的应用实验、 等离干体清洗、等离子体表面处理实验、等离子体消毒、灭菌等所用的i5}箭包括DHAP-1攫 常压微波等离子体实验装置、常压微波等离子体射流实验装置、电晕等离于体装霞等．在发达 国家．等离子体技术已广泛应用下三废的处理、公其环境的消毒在国内，这方面的技术应用 也受到