用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的光电性能的研究.pdfVIP

1604 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷 用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的光电性能研究* ∗ 王银玲，李美成，李洪涛，赵连城 (哈尔滨工业大学 材料科学与工程学院，黑龙江 哈尔滨 150001) [5] [6] 摘 要：采用磁控溅射方法在p-Si (100) 衬底上制备 发 、溶胶-凝胶法，脉冲激光沉积 (PLD) ，金属有 了VO 和择优取向的V O 混合相成分的薄膜。利用 机物化学气相沉积(MOCVD)方法等。不同方法以及 2 6 13 X 射线衍射 (XRD) 分析、原子力显微镜 (AFM) 、 在不同衬底上制备的氧化钒薄膜的电学、光学性质有 傅立叶红外光谱 (FT-IR) 分析及四探针测试方法，