基于金属保护层的导电高分子图形化方法及其在有机电致发光器件中应用.pdfVIP

基于金属保护层的导电高分子图形化方法及其在有机电致发光器件中的应用 欧阳世宏，谢应涛，王东平，朱大龙，许鑫，谭特，方汉铿 TFT—LCD关键材料及技术国家工程实验室，电子工程系，上海交通大学上海，200240 单有效的图形化方法。通过使用金属银薄膜作为保护层，传统的曝光显影工艺可以用来图形化PEDOT：PSS材料，且不会对材料产生f生能的退化。使用该方 法，本文制备了精细的PEDOT：PSS图案。利用图形化的导电PEDOT：PSS作为电极，所制备的有机电致发光器件具有很高的效率。 关键字．PEDOT：PSS，曝光，图形化，有机电致发光 withSilver for PhotolithographicPatterning Interlayer its in Diodes PEDOT：PSSandApplicationOrganicLightEmitting Hon OUYANG Xin，TANTe，FONG Shihong，XlEYingtao，WANGDongping，ZHUDalong，XU Hang for and ofElectronic National Lab TFT—LCDMaterials Engineering Technologies．Department Jiao Engineering，ShanghaiTongUniversity，Shanghai，200240，China Abstract：PEDOT：PSSisarobustconductivewhichis infutureflexible norderto polymer promising applications．Iintegrate various introducea schemefor asilver PEDOT：PSSinto devices，we simplepatterning PEDOT：PSS．Byusing interlayer， conventional canbe resolutionandITO-freeOLEDsaredemonstrated． phOtO¨thograph}c used，High patferns processes Keywords：PEDOT：PSS；Phofo|ithography：Patterning；ITO-free；OLEDs， 1简介 性TMAH后会导致特性的退化，因此传统的紫外曝光工艺并不适用于酸性 柔洼电子是一个新兴的概念，具有柔性的电子器件对于消费者更加 具有吸引性。近来，梨陛的显示已经被展示出来[1]，此外还有多种可穿戴 式的设备。对于柔性电子器件，相当重要的一个部分，即是电极材料。尤其 而是有机溶剂丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)。但该方案的缺点在于SU8胶 对于有机电致发光器件，柔【生且透明的电子材料显得尤为重要。金属作为 在固化后基本没法去除，且研究表面PEDOT：PSS的导电性在图形化之后下 一种常用的电极材料，其具有极高的导电性能和优良的延展性。但在光学 降了10％。C．K．Ober等人，率先将氟化材料引入曝