苄叉烷烃酮类双光子敏化生酸体系在正性光刻胶中应用.pdfVIP

中国感光学会成立 30 周年庆祝大会暨 2011 年学术年会论文摘要集  苄叉烷烃酮类双光子敏化生酸体系 在正性光刻胶中的应用 ∗ 袁浩，赵榆霞,吴飞鹏 （中国科学院 理化技术研究所，北京100190） 摘 要：本工作合成了以三苯胺为电子给体的苄叉烷烃酮类双光子染料, 测定了染料的光化学和光物理性质, 染料的双光子吸收截面均达到1000 GM以上. 将染料分别和常用紫外光生酸剂N-羟基邻苯二甲酰亚胺三氟 甲烷磺酸酯( NIOTf )组成双光子敏化产酸体系, 测定了各生酸体系经单光子吸收敏化产酸的量子产率. 利 用该敏化产酸体系制备了化学增幅型正性光刻胶, 用衰减全反射红外谱研究了光刻胶膜中经双光子吸收敏 化产酸的催化降解过程. 将光刻胶应用于飞秒激光双光子微加工,评估了其加工性能.实验证明,利用以上 生酸体系能够制备高敏感度的双光子化学增幅正性光刻胶