扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究.pdfVIP

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2017-08-08 发布于安徽
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314 电子显微学报J．Chin．Electr．Micmsc．Soc 第25卷 a b 图1 SNAM结构原理图。a：超声信号由压电换能器产生；b：超声信号由微悬臂产生。 Fig．1SchematicoftheSNAM．a：The transducer theultrasonicacousticwave piezoelectricgenerated signal； cantilever ultrasonicacousticwave b：The the generated signal． a b C 200 300 A 600 ／ 500 0 ， ) 、 200 、 400 { 1 ， l ＼厂h | 、 300 E-200 100 宕200 ＼＼ l ，＼一 “ ， 2 100 _400 O 0 J ＼ f f ．100 ．600 ．100 ．200 0 4 0 4 25303 0020 06 810l21 1618 0005101520 54045 “m Um e f 图2 X CD．R光盘膜扫描结果。a：数据面的原子力显微镜形貌像，扫描范围5ttm5btm；b： X 印刷面接触模式的形貌图像，扫描范围5ptm59m；C：印刷面的SNAM图像，扫描范围5J上m×5ttm；d：图a中实线标注处的线扫描结果；e：图b中实线标注处的线扫描结果；f：图C中实线标注处的线扫描结果。 of CD—R CD-R ofthebacksurfaceof film Fig．2Scanningimage film．a：Topographicimag