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* * 电镜的近期发展 扩大电子显微分析的应用范围和提高其综合分析能力: 1.超高压电镜、 2.扫描透射电镜、 3.分析电镜 4.环境扫描电镜、 1 超高压电镜 加速电压大于500kV。 (1) 可以得到能量更高，波长更短的电子照明束，提高理论分辨率． (２)可观察较厚的样品:在观察较厚样品时也能达到很高的分辨本领。 1MV超高压电镜下观察到的玻璃纤维（直径约5μm）的暗场像 表1 超高压电镜的发展历史 1983—至今 1972—1983 1964—1970 1950—1970 时间 0.105～0.14 0.7～0.3 1 点分辨率(nm) 1.0～1.4 1.0～1.5 0.5～1.0 0.75，1.0，1.2 高压(MV) Hitachi(日本) JEOL(日本) AEI(英国) GESPA(法国) Hitachi(日本) JEOL(日本) RCA(美国) Shimazu(德国) Hitachi(日本) JEOL(日本) Cambridge(英国) Delft(荷兰) Toulouse(法国) 生产单位 原子分辨率 中期市场产品 早期市场产品 实验室试制 类型 2 扫描透射电镜 象SEM一样，STEM用电子束在样品的表面扫描，但又象TEM，通过电子穿透样品成像。 STEM能够获得TEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEM技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。 入射电子与样品原子的非弹性散射作用将导致能量的损失，产生色差。样品厚度越大，色差也就越大，图像质量下降。 而在扫描透射成像时，透镜在样品之前不参与成像，不同能量的透射电子直接被检测器所接收，不存在色差问题。 3 分析电镜 任何一种电镜加上能做元素分析的附件就称为分析电镜，如透射电镜或扫描透射电镜加X射线能谱仪或者能量损失谱仪。 另外，在电镜的发展过程中，人们还致力于发展电镜的各种附件，仅样品台一项就近十种，譬如有拉伸、高温、低温、压缩、弯曲、压痕以及切削等样品台。 4 低真空扫描电镜 (含环境扫描电镜) 高真空扫描电镜观察 1）：需将试样首先进行干燥处理， 2）：喷镀导电层，消除样品上的堆积电子。 改变了样品表面的化学组成和晶体结构，终止了材料的正常反应。 为了克服这些缺点，低真空扫描电镜应运而生。 1Torr ≈ 133.3 Pa ≈1个大气压的1/760
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