射频超导腔加速性能的改进.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! *++, 年$ 月 -./- 01234 56734 6)8 0649.:53 ;367 7=( ，*++,! 文章编号：! ++?@A** （*++, ）+$?B#?+@ 射频超导腔加速性能的改进! * * 李! 欣 ，! 陈! 强 ，! 辛天牧 ，! 郝建奎 （! 北京航空航天大学理学院物理系，北京 +++#A；! * ! 北京大学重离子物理教育部重点实验室，重离子物理研究所，北京 ++#C ） ! ! 摘! 要：! 为提高超导加速腔的加速梯度和! 值，改进了薄膜型超导腔的加速性能。研究证明，对于铜铌 溅射腔，在无氧铜衬底和铌膜之间加入)D) 层可以提高铌膜的超导转变温度，改善晶格结构；对纯铌超导腔提 出了改进方法，在传统的纯铌超导腔表面制备多层的超导?绝缘?超导复合膜可以屏蔽)D 腔表面的界面场，提 高超导腔的临界磁场，从而提高了铌腔的加速梯度。 ! ! 关键词：! 溅射；! 超导腔；! 氮化铌；! 超导转变温度；! 超导?绝缘?超导 ! ! 中图分类号：! 1@,$! ! ! ! 文献标识码：! 6 ! ! 射频超导谐振腔具有低热损耗，且腔形易于优化，并具有高电转换效率，适用于连续波（:2 ）模式下加速 ［］ ［*?A ］ 带电粒子束。超导腔现已广泛应用于各种大型加速器和光源装置中，如储存环 、自由电子激光 、强流加 ［@?B ］ ［, ］ 速器 和高能加速器 等。 ! ! 用作射频超导谐振腔的理想超导材料应该具备低的表面电阻、高的临界温度和临界磁场，其中应用最广泛 的是铌材超导腔。根据超导腔材料的特性，射频超导腔可分为纯铌超导腔和薄膜型超导腔两种。薄膜型超导 腔的特点是热导好，造价低，但加速梯度比纯铌超导腔低。人们对纯铌超导腔的研究非常深入［C ］，目前研究热 点是提高其加速梯度。本文针对这两种超导腔，分别进行了提高加速性能的研究，对薄膜超导腔进行了改善超 导薄膜质量的实验研究，提出了提高纯铌超导腔加速梯度的方法和实验方案。 # 薄膜型超导腔的性能改进 ! ! 薄膜型超导腔是在无氧铜腔表面制备一层高纯超导薄膜，常用的超导薄膜为铅，)D 7E ，% 7F 及)D 等，超 A A 导薄膜的制备方法有电镀、等离子体沉积和溅射等［# ］ ［$ ］ ，其中铜铌溅射腔 的技术发展比较迅速。铜铌溅射腔 成本较低，能够改善腔体的热导性能，有利于解决超导腔的热不稳定性问题。 ! ! 射频场进入到超导体内部的距离只有等效穿透深度的量级，因此只要超导薄膜足够厚，射频场就完全在超 导薄膜内，谐振腔的超导性能就可以得到保证。铌的穿透深度在5波段为几十EG ，因此 H * !G 的铌膜就足 ［+］ 够了。实验结果表明，铜铌溅射腔的加速梯度不是很高 ，而 且存在! 值衰减现象，这可能是因为铜铌之间的晶格结构匹配 不是很好，影响到铜铌溅射超导腔的品质。为改进铜铌溅射腔 的性能，本文提出了在无氧铜衬底和铌膜之间加入氮化铌 （)D) ）层来改善铌膜的超导性能。 ! ! )D) 是一种很好的超导材料，其超导转变温度在 , S 左 右，在低温和高温下具有良好的热稳定性，在超导态下有很好的 磁稳定性，在@( * S 时临界磁场为*B 9［］。因此)D) 是很好 的射频超导腔的备选材料。 ! ! 图 为制备超导薄膜的溅射装置原理图。薄膜制备在北京 大学直流偏压溅射装置上进行。溅射室采用全金属密封，本底 真空可达+