快速热退火对纳米晶粒SnO_2薄膜性质的影响.pdfVIP

第 27卷第 2期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vol. 27, No. 2 2008年 4 月 J. Infrared M illim. W ave s Ap ril, 2008 文章编号 : 100 1 - 9014 (2008) 02 - 010 1 - 04 快速热退火对纳米晶粒 SnO 薄膜性质的影响 2 1 1 2 1 秦苏梅 , 　童梓洋 , 　邓红梅 , 　杨平雄 ( 1. 华东师范大学 信息学院 ,上海 　20024 1; 2. 上海大学 分析测试中心 ,上海 　200444) 摘要 : 以 SnCl ·2H O 及无水乙醇为原料 ,利用溶胶 凝胶法在快速热退火下制备了 SnO 纳米薄膜 ,研究了快速热 2 2 2 ( ) ( ) ( ) 退火 R TA 对 SnO 薄膜性质的影响. 采用 X射线衍射谱 XRD 、扫描电子显微镜 SEM ,研究了薄膜的晶粒尺寸 、 2 ( ) 微结构 、表面形貌与快速热退火条件的关联 ,用傅里叶变换红外光谱 FTIR 和光致发光研究了薄膜的光学性质. ( ) 结果表明 ,快速热退火 R TA 温度对薄膜的光学性质 、晶粒尺寸和薄膜的结构形态均有较大的影响. ( ) ( ) 关 　键 　词 :纳米二氧化锡 ;溶胶 凝胶法 solgel ;快速热退火 R TA 中图分类号 : O4. 47　　文献标识码 : A EFFECT O F RAP ID THERM AL ANNEAL ING ON PRO PERTY OF NANO SnO2 TH IN F ILM 1 1 1 2 1 Q IN Su M ei , 　TON G ZiYang , 　GUO M ing , 　D EN G HongM ei , 　YAN G P ingX iong ( 1. D ep art