介观尺度铜膜力学行为尺度效应的研究进展.pdfVIP

第 28卷 　第 1期 中国材料进展 Vo l28　No1 　 2009年 1月 MA TER IAL S CH INA J an2009 介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展 孙 　军 , 刘 　刚 , 丁向东 (西安交通大学 金属材料国家强度重点实验室 , 陕西 　西安 　7 10049) 摘 　要 : 以作者课题组近期的研究结果为基础 , 以集成电路中互连线用金属 Cu 薄膜为模型材料 , 分别介绍了金属薄膜延性 和疲劳寿命评价方法及相关测试结果的最新进展 , 讨论了介观尺度 Cu 薄膜力学性能的尺度效应 , 分析了薄膜材料中准静态 力学性能对动态性能的影响 , 并简述了多场耦合对薄膜力学性能及变形行为的影响 。 关键