基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试.pdfVIP

第 2 1 卷 　第 4 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 2 1 　N o . 4 2008 年 4 月 CHIN ES E J OU RNAL O F S EN SORS AND AC TUA TORS Ap r . 2008 Research and Test of the Circuit for MEMSBased Piezoelectric Micro Energy Harvesting Device 1 2 1 1 S H E N X i ucheng , FA N G H uabi n , WA N G YaJ un , L I U J i ngqu an 1. N at ional Key L aboratory of M icro/ N ano F abric