外加静电场下激光诱导等离子体电子、离子特性的实验研究.pdfVIP

第 卷第 期 原 子 与 分 子 物 理 学 报 ， 19 1 Vol . 19 . 1 年 月 ， 1 . 文章编号： （ ） 1 11 外加静电场下激光诱导等离子体电子、 离子特性的实验研究* 郑贤锋，杨 锐，唐小闩，季学韩，凤尔银，崔执凤 （安徽师范大学物理系光谱与材料研究室，安徽芜湖1 ） 摘要：从局部热平衡等离子体的一价铝离子速度服从麦克斯韦 玻尔兹曼分布出发，导出了电流信号的时间 演化函数，通过对实验曲线拟合，得到激光诱导铝等离子体中一价铝离子的平动温度。实验研究了电流信号 强度与外加电压之间的关系。实验结果说明电流信号强度随外加电压的增加而增大但并非线性增长而且与 缓冲气体的性质和靶样品的物理特性有关。 关键词：激光诱导等离子体；外加电场；电流信号强度 中图分类号： 文献标识码： 9 1 引言 准分子激光，工作波长为 ，脉宽为 。单 脉冲能量为 。样品放置在一平行板构成的电 脉冲激光沉积技术（ ）经过 l oo 极中间，极板间距为1 。极板电压在 V 二十多年的研究和发展，技术日臻成熟。利用脉冲 间可调。激光束经一焦距为 的透镜垂直入射 激光沉积可以获得理想化学配比的薄膜，而且此方 到固体样品表面上，经透镜聚焦后，激光束在靶面的 法具有实验装置简单、适用性强、沉积效率高等优 光斑直径约 . 。瞬时功率密度为 19 点，因此被广泛应用于高温超导体、半导体、铁磁体、 。样品固定于圆柱形不锈钢反应池内，反应 类金刚石等薄膜的制备和研究。对激光等离子体内 池可以抽真空，又可以充缓冲气体。实验用缓冲气 的电子、离子动力学特性进行深入的研究，对提高薄 体为氩气、氦气和氮气，压力在1 o o 范围 膜质量、控制实验条件以及理解激光烧蚀沉积的物 内可调。实验时，极板上加适当电压，当激光脉冲照 理机制，具有重要的指导意义。 射在靶面上时，产生微等离子体，电路中出 目前对激光诱导等离子体中电子、离子特性进 ［］ 行了不少理论和实验研究。l et al 1 利用质 谱仪研究激光烧蚀沉积机理时，得到 平动速度 约为 1（ ， ， ）。 1 1 ［］ . . o et al 利用朗缪尔探针研究