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真空的获得与测量 摘要 真空技术在近代尖端科学技术中占有关键的地位，本实验要学习高真空的获得与测量方法，熟悉真空获得的相关设备和仪器，并掌握其使用方法。 关键词 高真空 机械泵 油扩散泵 引言 真空技术始于1634年，由托里拆利将一端密封的长玻璃管注满汞并倒置于盛有汞的槽里，发现汞柱顶端产生真空。自20世纪初起，随着电子管的研究和产生，逐步建立起了能够获得与测量压强低于Torr的高真空设备与技术；到20世纪50年代，随着表面物理，原子能物理，以及半导体、电子计算机、航空技术的迅速发展，发展了超高真空技术；到20世纪70年代，又进一步提高到压强低于Torr的极高真空。目前，真空技术在近代尖端科学技术中占有关键的地位。 实验原理 真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。 1．高真空的获得 获得真空用真空泵。真空泵按工作条件的不同分为两类：能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵（如机器泵），用来产生预备真空，需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵（如扩散泵），次级泵用来进一步提高真空度，获得高真空。 (1)机器泵一般采用油封转片式机器泵，其结构如图1 所示，在圆柱形气缸（定子）内有偏心圆柱作为转子，当转子绕轴转动时，其最上部与气缸内表面紧密接触，沿转子的直径装有两个滑动片（简称滑片），其间装有弹簧，使滑动片在转子转动时与气缸内表面紧密接触，当转子沿箭头所指方向转动时，就可以把被抽容器内的气体由进气管吸入而经过排气孔，排气阀排出机械泵。为了减少转动摩擦和防止漏气，排气阀及其下部的机械泵内部的空腔部分用密封油密封。机械泵用的密封油是一种矿物油，要求在机械泵的工作温度下有小的饱和蒸汽压和适当的粘度，机器泵的极限真空度一般在Pa。 (2)扩散泵一般多采用油扩散泵，其结构如图2 所示，扩散泵是高真空泵，当机器泵的极限真空度不能满足要求时，通常加扩散泵来获得高真空。这种泵不能从通常气压下开始工作，只能在低于Pa气压下才能工作。因此，必须与初级泵串联使用。 在扩散泵开始工作之前，必须先开动机器泵抽气，等达到预备真空时，便可以使用电炉对蒸发器中的油进行加热。当油加热至沸腾时，便产生大量油蒸汽，蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出，此时，由于来自被抽容器的气体不断向蒸汽流中扩散，便被带到下方，而油蒸汽被冷凝水套凝结，沿着管壁经过回油管流回蒸发器，被带到下方的气体则由机器泵抽走。 使用扩散泵的时候必须注意： 1）与扩散泵配合的机械泵，它的抽气速率必须保证及时排走扩散泵内部所排出的气体。 2）扩散泵工作时冷却水必须畅通，否则会使冷凝水套中的水温过高，油蒸汽不能很好的凝结，以致部分蒸汽要冲向被抽容器，影响泵的抽气速率和极限真空度。 3）加热电炉的功率大小也是影响泵的抽气速率，所以应选择适合的电炉。 2．真空的测量 真空计是测量真空系统中气体压强的仪器，种类很多。各种真空计都有一个测量范围，将有范围覆盖的各种真空计组合起来，完成大范围的真空度测量。 （1）温差电偶真空计的原理 温差电偶真空规管由玻璃制成，通过小管 8 和真空系统相接，如图3 所示，在规管内的两根引线上装有热丝3，另外两根引线上焊着一对温差电偶4，温差电偶的另一端与热丝在A 点焊接。由于在低压下，气体的热传导系数与压强成正比，所以在通过热丝的电流一定的条件下，热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高，温差电偶电动势也就随之而增大。因此，通过测量温差电偶电动势，就可确定出被测系统的真空度，温差电偶真空计就是根据这个原理制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围为： Pa。 （2）热阴极电离真空计的原理 最简单的热阴极电离真空规管就是一只三极管，如图4 所示，通过B 管与真空系统相接，使用时，在灯丝电路中通以电流，灯丝受热后便发射电子，由于栅极加上正电压，便吸引电子使电子加速，中途与气体分子相碰，气体的密度越大，碰撞机会越大，产生的正离子也越多。另外，由于板极电压为负，便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip，气体分子密度越大（即压强越大），板极电流也越大。所以，通过测量板极电流便可以确定气体的压强，热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。热阴极电离真空计是测量极高真空的仪器，测量范围为Pa。 3．真空检漏 在真空系统初步装置完成以后，就要检查是否漏气，漏气可能发生在接口部位处，也可能发生在管道或者真空泵本身。一般讲，系统在较长时间内达不到预定的真空度的时候，就要进行检漏。玻璃真空系统的检漏，常用高频火花检漏器来检查，其结构如图5所示。T1 为电源的升压变压器，输出300V 高压，使电容器C1、C2 充电，当电容器两端电压升到足够高时，就通过火花间隙G 放电，在C1L1C2G 回路中产生高频高压使附近空气电离，而激起很强的放电现象。 在检查漏气时，先接通电源，让检漏端接在玻璃壁附