基于位移传感器的圆弧形面参数测量装置.pdfVIP

基于位移传感器的圆弧形面参数测量装置* 张维光 张东平 张 磊 崔楠楠 (西安工业大学光电工程学院 西安 710021) 摘要：针对圆弧形面机构啮合面在设备检修过程中型面参数测量及型面失效状态诊断问题，设计了基于高精度位 移传感器与显微观测系统的圆弧工件表面局部细节几何参数测量系统，讨论了高精度位移传感器测量范围与显微系 统景深结合实现圆弧形面面型参数观测的技术方案，开发了基于ARM单片机的数据采集系统。测量结果表明，仪器 在0．7mm的测量范围内，单点位置测量精度可达到0．01mm。通过对仪器支撑轿机构进行针对性设计，仪器对于圆 弧形面具有较为广泛的适用性。 关键词：型面测量；位移传感器；显微系统；ARM单片机 中图分类号：TB22文献标识码：A 国家标准学科分类代码：420．40 Arc—surface measurementdevicebasedon sensor parameters displacement