某后道封装测试洁净厂房的净化空调设计.pdfVIP

医药工程设计杂志　Pharmaceutical Engineering Design 2002 ,23 (5) ·29 · 洁净空调设计 某后道封装测试洁净厂房的净化空调设计 ( ) 上海电子工程设计研究院 200135 　周 　亮 ( ) 摘要 　介绍某后道封装洁净厂房的净化空调设计 ,阐明了新风机组、干冷盘管及风机过滤器单元 FFU 组合使用的技术 特点 ,并指出风机过滤器单元在国内应用的广阔前景。 ( ) 关键词 　干冷盘管 　风机过滤器单元 FFU 　新风机组 1 　概况 2 2 1058m ,洁净区面积合计 4433m 。洁净室层高 3m 。 本工程是一个集成电路封装测试厂房 ,位于上 各车间温湿度及净化要求见表 1 。 海张江高科技园区内。原材料晶圆片经切割、塑封 , 表 1 　净化车间参数表 引脚切筋、打弯、测试等工序之后成品出厂。综合厂 温度 湿度 净化级别 正压值 房间名称 2 ( ) ( ) ( μ ) ( ) 房共 2 层 , 建筑面积 22000m 。一层前道车间 ℃ % 0 3 m Pa ( ) ( ) ( ) 前道 23 ±2 50 ±5 10000 级 15 EOL 、后道车间 FOL 、测试车间 TEST 设置在 建筑物中间 , 四周由环形密闭走廊包围。其他辅助 后道及测试 23 ±2 50 ±5 100000 级 10 车间、仓库、办公区及动力站房等设于车间四周 ,二 层为二期发展部分 ,空调机房设在二层。一层前道 2 　净化空调设计 ( ) 2 ( ) 车间 EOL 洁净区面积 2250m ,后道车间 FOL 洁 净化车间空调方式采用新风机组 、干冷盘管及 2 ( ) 净区面积 1125m ,测试车间 TEST 洁净区面积 ( ) 风机过滤器单元 FFU 组合形式。如图 1 所示。