JEOL_JSM6360LA扫描电镜独立操作培训讲义.docVIP

JEOL JSM6360LA扫描电镜独立操作培训讲义 培训提纲 1、了解JEOL JSM6360LA扫描电镜的基本构造 2、了解主要性能指标 3、掌握操作步骤并进行图像观察 4、熟悉样品的制备知识 5、熟悉仪器注意事项及交接事项 一、仪器的基本构造 1、电子枪系统 2、磁透镜 3、样品室:①样品座 ②样品室拉门 ③X、Y、Z控制轴 ④样品倾斜及转动控制轴 4、真空系统：①机械泵 ②扩散泵 5、电子学系统：①电源系统 ②信号电子成像系统 6、显示部分：①显像管 ②照相机 二、仪器的主要性能指标 1、装置型号: 　　　 JSM-6360LA，带低真空功能2、EDS　 　　　　　　装配JED(JED2300)3、高真空模式分辨率: 　3.0nm@30KV WD=8mm4、低真空模式分辨率: 　4.0nm@30KV WD=5mm5、放大率: 　　　 x5至x3000006、低真空度: 1to270Pa，高、低真空切换7、加速电压: 0.5kV至30kV，束流1pA—1uA。8、试样台　 中心式,x:80mm,y:40,z:43mm,倾斜-10～+90度,旋转360度,最大试样尺寸:152mm,试样容许:48mm。计算机控制5轴(任选件)。9、PC/OS功能: IBMPC/AT互换型机、Windows2000XP,用户登录,菜单,自动聚焦,自动非点补正,自动亮度对比,自动枪。10、排气方式: 高真空+低真空排气方式。11、真空系统: 马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱。12、分辨率脉冲处理器:只有分析时注入氮气,高性能x射线数字处理器。 三、操作步骤 1、开机检查循环水系统,温度显示约,为正常范围。 WINDOWS后，⑹、点击对话框中的【EVAC】按键，等待仪器控制台上EVAC灯停止闪烁，程序中【HTREADY】按键变亮后就可以进行图像调节。 2、图像调节过程 ⑴、点击【STAGE】按键，确定样品台规格，定好扫描位置。 ⑵、点击【HTREADY】按键，打开灯丝，此时按键变为【HTON】。根据所需放大倍数，使用【－】、【＋】按键。调节好聚焦、像散贝图象须用新光盘或。 关机先关高压，放气后，取出样品后，重抽真空，然后关WINDOWS系统，关闭电镜控制台电源；等15分钟后关闭稳压源和循环水系统电源。 在记录本上记录使用情况。需用电镜观测的样品必须干燥无挥发性能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）交换样品特别注意：样品室中暴露着镜头极靴二次电子探头背散射电子探头能谱探头等电镜的核心部件，样品台驱动过程中存在着碰撞的可能性，交换样品和驱动样品台时要特别小心。样品室门应轻拉轻推；样品要固定牢固，防止掉到镜筒里去样品高度要合适，Z轴移动样品或手动倾斜样品前，极靴位置。换样品过程：换样品前必须先检查电压是否已经关闭，条件符合，可按放气键（“VENT”）。整个换样品过程中，不要手动调节样品台位置。样品高度问题 同一次装入电镜的样品，高度差不要超过1.5mm（包括同一块样品的表面高度也是如此）。对镶嵌块，断面样品等高度大的样品，千万不要对样品台平面聚焦，只能对样品上表面聚焦有关电脑的特别提醒 电镜的电脑不要。禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。禁止使用USB接口（包括优盘）。使用光驱需电镜，严防病毒感染。电脑的许多指令要驱动电镜中的电气部件或机械部件的一系列动作，时间可能较长，千万不要连续点击或按键，否则可能引起电脑死机。按放气键VENT】， 当程序中【HTREADY】按键变亮3分钟后才打开高压，以延长灯丝的寿命。 6、不能拷贝其他人有关的图片，EDS控制台和物镜光阑不能动。 7、没有允许，不能打开电子干燥箱和玻璃干燥器。保持扫描电镜室的清洁卫生，所有进入电镜室人员必须更换实验室专用拖鞋。 8仪器的交接： 高压开启后才能进行交接，检查背散射探头是否损坏。 交接包括钥匙、工具箱内物品 密切注意办公自动化，如果看到停电通知，请关机。 如遇突然断电，马上停止实验并关机。 5