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内 容 提 要 静电的概念 静电对电子工业的危害 静电危害的防护 离子产生器介绍 有关静电的基本概念--补充部分 1.什么是静电? 停留在物体表面,相对静止不动的电荷 。 按照物质所带电荷的存在与变化状态可分为动电(流电)现象和静电现象;静电现象是对于观察者而言,所带电荷处于静止或相对稳定状态。 3. 静电怎样产生? 静电产生的原理在于:物质因外力作用,原子或分子结构发生变化,该物质中性带电平衡状态被打破,使其丢失或得到电子,物质即由中性状态改变为带电状态。 静电可因多种原因而发生: 例如,物体间的摩擦、接触和分离、电场感应、介质极化等等许多物理过程都可能导致静电。 6. 静电危害的表现形式 6.1 静电吸附--微污染(ESA) 微粒子会吸附或被吸附和积聚在生产设备和产品表面上。 由于强大的静电吸力,室内气流难以吹走它们。 6.2 静电放电(ESD) 指具有不同静电电位的物体由于直接接触或静电感应所引起的物体之间静电电荷的转移 。 积聚的静电荷会向附近低电位找路径放电以释放能量。愈近愈容易。 6.3 静电放电所导致的电磁干扰(EMI) 由静电放电所产生的脉冲约在1ns – 10ns之间,即约100MHz – 1GHz。 若与设备上微处理器所操作的频率相近,则可能产生干扰,影响设备正常运作。 7.1 静电对产品的危害 焊接不稳和不可靠 导电微粒会致使线路短路 “潜在”损坏线路板上的电子零件,减短产品的工作寿命。 污染产品外貌,形成次品现象。 7.2 静电放电对IC的影响 * 热击穿----------短路发热 * 介电击穿 * “潜在性”静电放电的破坏 事实证明,静电在电子或相关工业所引起的问题严重影响: 成品率降低 = 成本高 产品品质不稳定 = 客户没有信心 有效的控制和解决 可获得更好的收益和公司形象 10. 如何避免静电在电子工业上的影响 10.1 最理想的方法是在电子元件内加入保护性线路------设计方面; 10.2 减除工作桌上绝缘材料物件,或不能接地的导体材料物件------尽量减少静电源; 10.3 安装静电控制设备和实施静电防护措施 -----静电控制。 10.3 静电控制 *静电控制的基本途径: -1. 添加剂/表面处理 -2.接地 -3.屏蔽 -4.中和 离子产生器会增加在空气中的正和负离子数量,异性离子会被吸至和中和带电表面,同性离子会被排斥回空气。 这是一动态过程。 在一针尖上,加上足够高的电压,则会在附近空气产生电晕放电,在电晕放电区内会产生离子。 同极性离子会被排斥出电晕放电区,异极性离子会走向针尖,反电荷转入针尖所在的线路。 控制针尖上的功率,可调整离子的输出数量。 检测仪器:CPM (Charge Plate Monitor) 检测项目:1)残余电压; (-35VV*35V) 2)消电时间;(1000V-100V) 不同离子产生器的测试方法: 离子风机: 距离检测仪器30CM; 风枪/风嘴: 距离检测仪器15CM; 因为电极上的高电压会吸附尘埃和产生微粒,所以要定期清洁电极上的尘粒和微粒,以移除离子输出屏障。 清洁电极,简单的只需用软毛擦,擦走电极上的尘粒和微粒。 若有需要用棉纤棒和无水酒精IPA来清洁,则必须小心注意,不要留下棉纤维在电极上。 清洁时远离对金属灰尘颗粒敏感的器件。 如需拆装保养与维修, 须由授权人员操作. 10.3-4 静电控制的基本途径 -离子中和 选择离子中和设备的重要参数: 离子平衡度--低,稳定 要求: 0 ±35V 中和效率--高 臭氧产生率--低 保养维修--少,方便容易 与洁净室兼容--根据要求 11. 离子产生器介绍 离子产生器 交流离子风扇 直流离子风扇 离子风枪 离子风扇 11.1 离子产生器分类 “交流” 和 “直流”: -1. 各自工作原理 1 2 4 3 6 5 交流:放电针尖依一定的频率同时释放正负离子 1 2 4 3 6 5 + + + + + + 直流:放电针尖各自释放正或负离子 + + + - - - 交流 直流 放电针尖 -2. 各自优缺点 维修和控制较难 对工作范围有要求 残余电压低 可对远距离工作 DC Ionization 短时间内产生空间电荷 残留电压性能不佳 维修和控制简单 可对远距离工作 不会在物体表面产生静电压 Pulse DC Ionization 作用距离近 无法实现“零”电压 维修和控制简单 残余电压低和稳定 不会在物体表面产生静电压 AC Ionization 缺 点 优 点 技 术 7kV / 4
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