干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! !! #$%!’$!! ! ! ! 年 月 ! ())* !! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ’$;())* ! ! 文章编号! # !))!=(( ())* !!!?)= ! 干涉测量系统中杂散条纹影响的抑制 徐建程! 石琦凯! 柴立群! 邓 燕! 许 乔 ! ! ! ! ! ! 成都精密光学工程研究中心!成都 # *!))=! 摘 要! 为了抑制杂散条纹的影响!提出了一种简单实用的单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法!它根据 ! ! ! ! 三表面干涉时各个表面干涉的条纹调制度不同!从三表面干涉图的频谱中提取测试面的频谱!从而准确地恢复 测试面的面形$模拟结果证明了该方法的有效性!准确度可以达到 % $实验表明单幅三表面干涉条纹 ! !))) 傅里叶分析法得到的面形形状与波长调谐时域傅里叶变化法和涂消光漆法得到的结果基本一致! 值和 .# 值与波长调谐时域傅里叶变化法相差分别为 和 !与涂消光漆法相差分别为 和 2:5 )))! )))= ))=( ! ! ! $通过 次单幅三表面干涉条纹傅里叶分析法测量!得到 和 值的重复性分别为 和 )@)!A ? .# 2:5 )))? ! ! )@))(* $ ! 关键词! 干涉检测’ 杂散条纹’ 傅里叶分析’ 平行平板 ! ! ! ! ! ! 中图分类号! /=*! 文献标识码! 4 ! ! ! ! ! ! ! ! 目前商用的干涉仪使用的光源是单横模激光!它具有很强的空间相干性和时间相干性!所以在干涉成像系 !! 统里!光学元件表面的反射或散射都很容易产生杂散条纹!尤其是平行光学元件如 886 前面的保护玻璃盖( ) *