超声显微镜的厚度测量方法.pdfVIP

测试测量技术与设备 电 子 工 业 专 用 设 备 ● 超声扫描显微镜的厚度测量方法 魏 鹏．张继静 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 100176) 摘 要 ：基于超声扫描显微镜 ，在基本的反射扫描方式基础上开发 出厚度测量扫描方式。作为实 验室中的无损测厚工具 ，可以精确测量器件或器件 中某材料层的厚度。 关键词：超声扫描显微镜；厚度测量；扫描方式 中图分类号：TN307 文献标识码 ：B 文章编号：1004—4507(2013)01-0030-04 ResearchontheThicknessM easurementBasedon the ScanningAcousticM icroscope WEIPengZHANGJijing (The45thRerearchInstituteofCETC，Beijing100176，China) Abstract：Thispaperinventsthethicknessmeasurementscanningonthefoundationofechoscanning basedon theScann ingAcousticM icroscope．Asatoolofnon-destructivethickn essmeasurein the laboratory，itcanaccuratelymeasurethethickn essofapartoronemateriallayerinthepart． Keywords：ScanningAcousticMicroscope；Thickn essM easurement；Scanningmode 超声扫描显微镜是一种用来检测物体 内部结 需求中越来越普遍的一种功能。超声测厚能在不 构、缺陷的无损检测设备，是用于检测器件 内部的 损坏被测器件的情况下，准确检测器件或器件中 分层、气孔、裂缝和夹杂等缺陷，而且在判别密度 某材料层的厚度 ，并同时发现设备的内部缺陷，它 差异、弹性模量、厚度等特性和几何形状的变化方 在节约原材料，提高产品质量控制能力等方面都 面也具有一定的能力。其扫描模式主要有透射和 起到了很大的作用 。 反射两种 。反射扫描主要分析超声波在分层或者 在工业 中，超声波测厚 已经成为石油、化工、 缺陷上的反射波，可 以确定缺陷的位置和尺寸， 冶金、船舶、航天等领域不可缺少的检测手段。而 具有 A、B、c、多层、TAMI等多种检测方法 。 超声扫描显微镜作为实验室中的无损测厚工具， 随着超声扫描检测方式的多样化，客户需求 可以检测更薄的厚度，在半导体封装行业具有重 也越来越丰富，对被测器件的厚度测量成为客户 要的意义 。 收稿 日期 ：2012．11．23