纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究.pdfVIP

第28卷 第 3期 摩 擦 学 学 报 V0J28． No3 2008年 5月 TRIB0L0GY Md‘y，2008 纳米弹性复合 DLC薄膜的制备 及其摩擦性能研究 程广贵 ，丁建宁 ，凌智勇 ，坎 标 ，范 真 ，石超燕 (1．江苏大学 微纳米科学技术研究中心，江苏 镇江 212013；2．江苏工业学院，江苏 常州 213016) 摘要：利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜， 采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析，用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度 ，用 UMT．2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能．结果表明，以 一缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷(187)为偶联剂 的薄膜试样表面比以 ．氨丙基三乙氧基