脉冲激光辐照TiO2SiO2薄膜热效应研究.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! ! #$%! ’$! ! ! ! 年 月 ! ())* ! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ;=())* ! ! 文章编号! # !))!?@((())*)!))(@)? ! 脉冲激光辐照 薄膜热效应研究 !# %# $ $ 周维军! 袁永华! 桂元珍! 刘海淘 ! ! ! 中国工程物理研究院流体物理研究所!四川绵阳 # A(!)) 摘 要! 采用!)A B 单脉冲激光在不同能量密度下辐照特殊光电系统中典型薄膜光学元件!理论分析 !! ! ! ! 了激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场!在此基础上建立了激光辐照多层薄膜的物理模型!计算软件使 用 4’5C5软件的热分析模块对激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场进行了模拟!分别给出不同激光 能量密度下薄膜表面光斑中心的温度场$径向温度场和轴向温度场分布%同时给出不同能量密度下薄膜的轴 向$径向和环向热应力分布并对激光辐照薄膜元件产生的温度场$热应力场进行了分析!阐明了原因 关键词! 激光辐照% 薄膜% 温度场% 热应力 !! ! ! ! ! 中图分类号! /?D?E 文献标识码! 4 !! ! !!!! ! 激光辐照材料时!材料表面吸收入射激光能量!引起温度升高!产生熔融$气化$喷溅等现象具体发生哪 !! 种现象与辐照材料的激光波长$激光器工作方式$激光强度$以及材料的热物理特性和实验环境条件密切相关 在激光与材料相互作用的热耦合过程中!材料表层吸收入射激光能量转化为热能!并通过热传导向材料内部扩 散!形成温度场这种温度场可能改变材料的物理性质和结构!甚至导致材料功能失效因此!研究激光辐照 材料产生的温度场和热效应!是开展激光与材料相互作用失效机理和破坏效应研究的基础性工作!它既复杂又 ’ ( ’ ( 有研究意义 ! 本文通过 单脉冲激光辐照 ) 薄膜!利用得到的综合参数 ( 来计算不同能 !)A B 7F/ 5F/ ! ! ( ( 量下单脉冲激光辐照薄膜产生的温度场和热应力场!并对计算结果数据进行了分析 理论分析 ! 激光辐照多层薄膜元件的模型示意图如图 所示 由热传导微 ! !! 分方程 !!# $ %’