高精度、大动态范围MEMS加速度计探头研制.pdfVIP

·360 · 中国地球科学联合学术年会 2014 高精度、大动态范围MEMS 加速度计探头研制 伍文杰 朱 涛 张文婷 王 超 刘金全 涂良成* 华中科技大学地球物理研究所物理学院 武汉 430074 地球是人类的家园，地球的性质和变化，对人类有着巨大的影响。然而，要直接观察地球的内部结 构及其变化并不现实，通过测量它产生的重力场来反演判断地球内部状况是人们的通常选择。加速度计 是这些测量系统的核心部件之一，在地质勘查、矿产与油气田资源勘探和重力辅助导航、地震检波等领 域有广泛的应用。重力场的变化非常微弱，这就对加速度计精度提出了非常高的要求。采用 IC 工艺制 作的 MEMS 加速度计可以把器件和信号处理电路集成在同一块硅片上, 具有尺寸小、质量轻、功耗低、 可靠性高、成本低等优点。而商用的 MEMS 加速度计精度普遍较差，应用范围被局限在汽车安全气囊 等精度要求不高的场合，因此提高其分辨率和动态范围具有重大意义。国外已有相关高精度 MEMS 加 速度计的设计与加工，本底噪声优于 3ng/√Hz 。 三明治摆式电容 MEMS 加速度计又称为悬臂梁式硅 MEMS 加速度计（CMSA ），是比较理想的高 精度 MEMS 加速度计结构形式。其传感部分包含了可振动的质量块用于感受外界加速度；质量块上的 随质量块运动的电容极板与其正对的固定电容极板组成的电容用于将位移信号转变为电信号。这样就实 现了从加速度到位移、再到电容变化、最终转化为电压信号传输到检测电路完成加速度信号的检测。 通过对弹簧-振子膜片的结构设计与仿真分析，我们设计出一种机械噪声优于 0.4 ng/√Hz ，量程大 于 2g ，非敏感轴频率与敏感轴频率比值大于 6.2:1 的弹簧-振子结构形式。通过弹簧间隙不等宽度设计 来最大限度增大量程；通过保护机构设计对运动部件进行超量程保护。弹簧-振子膜片的 ICP 刻蚀后的 机械结构测试结果验证了其频率、Q 值均与设计一致。 弹簧-振子膜片表面还包含丰富的功能层，共计两个绝缘层、两个金属层，用于实现电容传感、反 馈控制、封装、与上盖膜片的电导通、静电屏蔽、电绝缘等功能。其层次的复杂性使得在进行组合加工 时，加工工艺兼容性变得非常重要。我们通过一系列的工艺优化和探索，所有功能层都能比较兼容地制 作上去，其电学导通性、电阻测量符合要求。 这种设计的高精度、大动态范围的 MEMS 加速度计避开了传统 MEMS 加速度计难以实现高精度的 缺点，其研制具有重大的应用价值。 资金资助：国家高技术研究发展计划（2011AA060502）和自然科学基金项目 参考文献 [1] S. Kumar，Design and Fabrication of Micromachined Silicon Suspensions ，PhD Dissertation ，Imperial College, London， 2007. [2] J. Kiiham¨aki a,), H. Kattelus a, J. Karttunen a, S. Franssila b，Depth and profile control in plasma etched MEMS structures,Sensors and Actuators 82_2000.234–238. [3] Pike W. T., Standley I. M. Determination of the dynamics of micromachined lateral suspensions in the scanning electron microscope. J. Micromech. Microeng. 15(2005) S82-S88 .