MEMS陀螺正交误差分析与仿真.pdfVIP

( ) 　　　　　　　　传感器与微系统 Tran sducer and M icro system Techno logie s 　　　　　　　　　2008年 第 27卷 第 9期 82 M EM S陀螺正交误差分析与仿真 温佰仟 , 刘建业 , 李荣冰 (南京航空航天大学 导航研究中心 ,江苏 南京 210016) 摘 　要 : 针对 M EM S陀螺由于机械耦合引起的正交误差 ,建立了包含误差的 M EM S陀螺动力学方程 ,在 开环检测和闭环检测情况下 ,分别对正交误差进行了分析 ,并通过相关检测技术抑制正交误差对陀螺性能 的影响 ,提取出角速度信息 。运用 Sim u link对陀螺进行了建模仿真 ,仿真结果表明:在开环检测和闭环检 测情况下都能够有效消除正交误差的影响 , 由此验证了理论分析的正确性 。 关键词 : 微电子机械系统 ; 陀螺 ; 正交误差 ; 机械耦合 ; 平均化分析方法 中图分类号 : V24 1. 5　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2008) 09 - 0082 - 03 Ana ly sis and sim ula tion of quadra ture error on M EM S gyroscope W EN B aiq ian , L I U J ianye, L I Rongb ing ( Nav iga tion Research Cen ter, Nan j in g Un iversity of A eronautics an d A stronautics, Nanj ing 210016, Ch ina) A b stract: A im ed at quadrature error induced w ith m echan ical coup ling, the dynam ic equation s of M EM S gyro scop e s including error are given, under the condition of op en loop detection and clo sed loop detection quadratu re error is analyzed sep arately. Effect of quadrature error on M EM S gyro scop e p erform ance is inh ib ited and the inp ut angu lar rate signal is extracted by u sing the m ethod of correlation detection. Sim u link is u sed on the modeling and simu lation of gyro scop e, the sim u lation re su lts show that the effect of quadratu re error can be elim inated effectively under the condition of op en loop detection and clo sed loop detection. H ence, the validity of the theoretical analysis is ver