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- 2015-07-23 发布于重庆
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乙醛酸化学镀制作铜互连线研究.pdf
维普资讯
第35卷 第3期 表 面 技 术 V0I．35 NO．3
2006年 6月 SURFACETECHNoLOGY Jun．2006
乙醛酸化学镀制作铜互连线的研究
王静 ，‘杨志刚 。谢鹤 ，金哲晖 。胡楠
(1．中国矿业大学化学与环境工程学院，北京，100083；2+清华大学材料科学与工程系，北京，100084)
[摘 要] 采用乙醛酸代替有害的化学药品甲醛作为还原荆的化学镀技术：在TiN阻挡层实现了化学镀铜。研究了
不用贵重金属钯催化，而是采用NHF酸性化学镀方法在TiN／Ti／SiO2／Si基板上沉积一层铜种子层，然后在此铜种子层上
采用乙醛酸化学镀方法沉积铜膜的方法。用SEM观察镀层形貌，XRD表征镀层结晶状态，证实此方法能够制备出超大
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