半导体氧化物气体传感器测试新原理和方法的初步的研究.pdfVIP

半导体氧化物气体传感器测试新原理与方法的初步研究“ 张正勇张耀华焦正李民强张蓉刘锦淮 (中国科学院合肥只能机械研究所合肥230031) ● 摘要：本文基于半母体氧化物的气体敏感机理，提出对其测试的新原理和方法，通过试 验发现，这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性，而且能从混合气体 中分辨出特定的气体成分，判断出大致的浓度。用这种方法，同一种气体传感器通过不同的 测试手段可以检测不同的≮体。 ● 关键词：半导体氧化物；气敏特性：动态测试方法；选择性：稳定性。 一，≠导体氧化物的气敏机理 N型半导体氧化物如二氧化锡、三氧化二铁、氧化铜、氧化锌、三氧化钨等以及它们的 复合氧化物如MxFe0；(M代表金属)和MxSn0，系列等都可以作为气体敏感材料。研究最多， 性能最好，应用最广泛的是=氧化锡和三氧化二铁两种材料。 半导体氧化物的敏感机制一收认为有两种。一是以二氧化锡为代表的表面吸附控制型， 它的敏感机理是在洁净空气中被加热到一定的温度时对氧进行表面吸附(由于二氧化锡处于 Sn0。的状态，表面活性较高．在有催化物的情况下很容易吸附氧)，在材料的晶界处(材 斟处于多晶状态，或本身就是由纳米级的微粒组成的)形成势垒，该势垒能束缚电子在电场 作用下的漂移运动，使之不容易越过势垒．引起材料电导降低：在还原性被测气氛中吸附被 测气体并与吸附氧交换位置或反应，使晶界处吸附氧脱附，表面势垒降低，从而引起材料电 导增加。通过材料的宅导的变化就可以检测被剩气体。参见图i。 其二是以三氯化二铁为代表的体效应型，其敏感机理是材料在被测气氛中金属元素价态 发生变化，a口半导体氧化物材料发生了氧化还原反应，从而引起材料电导的变化而感知被测 气体。例如氧化铁庄较高的温度下，处于洁净空气中，被完全氧化成三氧化二铁(特别是在 晶粒表面)：当其遇到还原性气体时，三氧化二铁被还原成四氧化三铁。三氧化二铁的电导 较低，而相比之下四氧化三铁的电导较高，所以通过这种电导的变化能检测还原睦气体。当 发育被删气体时，处于洁净空中的四氧化三铁又被氧化成三氧化二铁。 需要指出的是，要发生这些变化必需有较高的温度，所以半导体氧化物气体敏感元件一 ● 般要加热丌能正常工作。其次，由上述机理可知，正常的氧气环境是必须的，否则就不能有 教地对气体进行检测。第三，半导体氧化物材辩也可用于检测氧化性气体，无非是材料表面 迸一步被氧化性气体覆盖．材料进～步被氧化，晶界势垒述一步提高。电导进一步降低。所 以，材料的电导在氧化性气氛中是降低的，而在还原性气氛中是升高的。 二、、#导体氧化物气体传感器的制各 ● 半导体氧化物气俸传感器主要有厚膜、薄膜和烧结型等结构。一股以筹种CVD方法和腔 体方法制备敏感薄膜。以SnO：为蜘j．厚膜和烧结型气体传感器的主体材料是用共沉淀法制备 的，再经过一定温度和时蚓的烧结，掺杂PdCI，(二％m)，In…OSiO，，ThO，．Sb，O、等杂 覆，一般杂质含量为2—5％(wt)。经过一系州的烧结，最后制备成所需要的结构．经过浇 ’中国科学院传感技术国家重点开发实验室。 6国家自然科学基金支持研究项目，批准号 275 结、老化等后处理工艺就可以进行测试了。 一般以灵敏度s来表征气体传感器对被测气体的敏感程度，灵敏度定义为元件在洁净空 气中的电阻Ra与在一定浓度的被测气氛中的电阻Rg之比。显然，S与气体种类和浓度有关， 同时与气体传感器的加热温度有关。 三、气体检测新原理