能陷效应对石英谐振式力传感器量程的影响.pdfVIP

STC’99 能陷效应对石英谐振式力传感器量程的影响 王蔷矗朱患忠董永贵冯冠平 清华大学精密仪器与机械学系北京100084 重 横要；能箔效应使石英谐振器需要的频率成为能璃波稳定地输出，而寄生频率得到抑制．石英谐 振式力传感器量程范围的确定要综合考虑石英材料的受压强度和能陷效应，否则当石英谐振器受 力后谐振频率超出能陷范舞时，传蓐器输出频率的稳定度下降．本文使用能陷效应基本公式和石 英谐振嚣力灵敏度公式，推导出由能陷效应所决定的石英谐振嚣的最大承载能力的表达式． 簟 关键词；石英谐振器能陷效应力传感嚣 一、引言 石英谐振式力传感器是一种利用石英谐振器的力颁效应而制成的力敏传感器。 根据所使用的谐振器的不同，大体可分为对径受压或周边受压的圆盘式谐振器和双 端音叉式谐振嚣。因为石英有非常好的力学性能，所以石英谐振式力传感器一般具 有较小的滞后、蠕变和重复性误差，另外这种传感器以数字式的频率为输出信号， 后续处理电路简单，易于和计算机连接，有着较广阔的发展前景。 圆盘式谐振器的设计与频率控制用的谐振器基本相同，都要利用石英谐振器的 能陷效应。以得到稳定的输出频率。石英谐振器的承载能力和传感器结构的承载能 力决定了石英谐振式力传感器的量程范围。石英材料有根高的受压强度，但是因为 其脆硬的性质，使谐振器很容易发生由于局部应力过大而造成的局部脆裂，这一直 是设计石英谐振式力传感器量程的主要依据。由于石英谐振器在力的作用下会产生 谐振频率的升高(或降低)，有可能会使受力后的谐振器仍然满足受压强度而谐振 频率却超出能陷效应所限制的频率范围的情况，这样谐振器的输出频率不稳定、O 值下降，直接导致传感器的精度降低。因此，在计算这种传感器的量程范围时，要 考虑能陷效应所决定的最高谐振频率的大小。 二、能陷效应与AT切谐振器的振动模式 AT切谐振器在厚度方向(y’方向)施加电场时，通过压电常数屯产生位移方 向在X轴方向的厚度剪切变形，沿X轴方向传播的厚度剪切波TSI和沿z’轴方向传 毫 播的厚度扭转波1T3f“。在A1’切谐振器的电极区(S)，由于金属电极的质量负载 效应和静电效应，使得该区内的截止频率工与无电极区(u)的截止频率工不同， 声波在S区的边界反射形成驻波，使大部分振动能量被限制在S区内，S区外振动 214 能量随距离指数衰减，如图l所示。 振动能量 · 当声波的频率产Z时，声波不能在 S或U区内传播，故不能产生激励： - 当卢f．时，声波能够在石英中自由 ＼ ，电楹区 传播，能量会传播出去，不能产生 能陷； y - 当工与庠工时，声波将在S区形成 ／八，． 驻波，在u匿内不能传播。 ■ 图1振动能量的分布 这就是能陷效应．如图2所示。因此， 谐振器的设计应该使需要的频率在丘和工之间，而不需要的寄生频率应该在这个 范围之外，这样需要的频率将发生能陷，产生稳定的驻波，而