大气环境下氩气空心针-板放电中OH和O的空间分布.pdfVIP

第 30卷 ，第8期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．30，No．8，p 2010年 8月 SpectroscopyandSpectralAnalysis August，2010 大气环境下氩气空心针一板放 电中OH和 。的空间分布 董丽芳，刘为远，杨玉杰，王 帅，张彦召 河北大学物理科学与技术学院，河北 保定 071002 摘 要 研究 广大气环境下氩气卒心针一板放电等离子体中0H和O的空间分布。利用空心针一板放电装置， 得到j-3cm长的等离子体炬。首先采集了300~800nm范围内的光发射谱，发现除了ArI谱线、Nz第二 J带系谱线 c。／／o(If一o)一B。 ( 一O)外，还出现了OH 自由基的谱带、OI谱线和较弱的H谱线。由 于含氧活性粒子在材料表面改性中具有重要作用 ，实验选取了OH发射的309nrn附近的谱带和激发态O发 射的777．4nm谱线，分析了girl的相对强度，得到r粒子的空间分布。结果表明：沿等离子体从弧根到弧 梢位置，OH 自由基数量迅速减少，()原子数量呈现先增多后减少的规律。 关键词 大气压等离子体 ；活性粒子；表面改性 中图分类号：O461．2；0433．4 文献标识码：A DOI：10．3964~．issn．i000—0593(2010】08—2035—03 一 电极，周围用绝缘塑料包裹，通过～接线柱接交流 电源的 引 言 高压端 J面用厚度为 1．5mm 的玻璃板覆盖。空心针末端 到玻璃板的距离为3．5cm。交流电源的频率为40kHz，其峰 近年来，大气压非平衡等离子体引起 人们的极大兴 值电压在 0～l2kV范围内连续可调。高压探头 (Tektronix 趣。间低气压等离子体相比，大气压等离子体 需要昂贵的 P6015A，1000Xd)用来测量电压。放 电电流信号通过测量 5O 真空设备，结构简单，易于操作 ，已被广泛应用于臭氧合成、 Q电阻上的电压得到。电流和电压信号由数字示波器 (Agi— 材料表面改性、灭菌消毒及薄膜生长等领域l1 。为了满足 lent，DS06054A，500MHz)记录并储存。放电产生的等离子 各种类型的应月J，研究者们没计 J，各种结构的放 电装置来产 体发出的光通过焦距 10cm的透镜会聚后由光纤导入光谱仪 生大气压等离子体，女ll空心阴极放 电装置、微 问 放 电装 (型号：ACTONSP-2758，1340×400pixels)，通过计算机 置、等离子体射流装置等 【。本工作是在大气环境下利用 控制采集并存储。 空心针一板放电装置来产生非平衡的等离子体。这种非热力 学平衡状态下的等离子体，可以用于材料的表面改性。用等 离子体照射材料表面时，材料表面分子的化学键被较高能量 的电子断裂，再与等离子体中的含氧活性粒子如 OH 31南 基、O原子等形成新的化合物，从而使材料表面的性质发生 改变。在材料的表面改性过程小引入的含氧粒子如OH 自由 基、0原子等对材料表而处理的效果具有重要作用，弄清它 们在等离子体中的空间分布就具有十分重要的意义。 1 实验装置 Fig．1 Schematicdiagram oftheexperimentalsetup 实验装置如图l所示。空心不锈钢针的外径为 1．3iniTi， 2 结果和讨论 内径为 1ITIITI，通过 5On的电阻接地。工作时氩气 由质量流 量控制器 (北京七星华创电子有限公司生产，D07—7B型)控 实验时向空心针中导入氩气，气体流量控制在 6mL · 制并导人空心针。直径 8cnl、高 6cm 的圆柱形铜块作为另 min ，当在针板间加j-峰值 电压为 7．2kV的正弦交流电 收稿 日期：2009一lO