正交复合梁--质量块结构硅微机械陀螺.pdfVIP

STC’99 正交复合梁一质量块结构硅微机械陀螺 李听欣尹颢杨恒沈绍群鲍敏杭 ．彝 复旦大学电子工程系上海200433 摘要：本文介绍一种正交复合梁一质量块结构的硅微机械陀螺。正交复 合梁由垂直梁和水平粱两部份构成，是多层结构。采用无掩模腐蚀新技 术已实现了这种结构，并研制了一种静电驱动、压阻检测的振动式微机 械陀螺。当驱动电压为6VAC+15VDC，电桥电压为5V时，电桥的灵敏度 为0．229V／(。／sec)。该陀螺的一个突出优点是可以在大气中工作。 关键词：陀螺，硅，微机械，无掩模腐蚀 一、引言 微机械陀螺是一种新型惯性器件．可望在汽车控制、摄像机防抖、 机器人等领域褥到应用。微机械陀螺一般采用振动式结构[1]，即外加驱 动使陀螺结构沿X方向振动，通过检测哥氏力引起的Y方向的振动来检 测系统转动角速度。由于哥氏力很小，陀螺通常工作于谐振模式。 在陀螺的研制中，已采用的结构有振粱结构、双框架结构和振环结 构【21等。其驱动方式有静电驱动、压电驱动和电磁驱动等。其检测方式有 电容检测、压电检测和压阻检测等。目前静电驱动、电容检测的陀螺是 最常见的，但真空封装和小电容检测十分困难。压阻检测要比电容检测 方便得多，但采用压阻检测的陀螺很少见。已发表的压阻式陀螺的主要 问题是灵敏度太低，仅为4nV／(o／s)。造成压阻陀螺灵敏度低的主要原因在 于结构设计不合理。我们利用复合梁结构研制静电驱动、压阻检测的器 件。研制了可在大气压力下工作的器件，克服了真空封装和小电容检测 的困难。 ● 二、传感器设计 n结构描述 本文介绍一种采用正交复合粱一质量块结构的压阻式陀螺。正交复 合梁由两部分构成：截面垂直于硅片表面的垂直梁和硅片上表面附近 的水平粱，如图1所示。垂直梁上端略微扩展，形成T形是为了便于在梁 上表面制作用于检测水平振动的力敏电阻。该结构有两种正交的振动模 式：由垂直梁决定的平行于硅片表面的水平振动摸式和由水平梁决定的 垂直于硅片表面的垂直振动模式。 垂直梁的上面有一对力敏电阻，用来感知横向弯曲引起的应力。在 水平粱上也有～对力敏电阻，用来检测驱动振动的幅度。由于制作T一型 粱的需要，复合粱是沿100方向的。为此，力敏电阻必须相应设计。实 际采用了沿100方向的n型力敏电阻。 ● 图1．复合粱一质量块结掏的设计草图 2)工作琢理 根据陀螺的集总机械模型，y方向和Z方向上的方程为： Fsincod， {，砂+cy夕+kvY2 1m5+c，j+k，：：2m啦 (1) 其中cr和cL分别是垂直压膜阻尼与水平滑膜阻尼的粘滞力系数，ky 和虹分别为垂直(y寸和水乎(Z．)方向的弹性系数。F和鳓是施加于质量 块的驱动力幅度及角频率，力是角速度信号值=Y方向的稳态振动表示 为Bsin(cn。t一矿)，其中B是受迫振动的幅度．≠是相位羞。在有角速度信 号的情况下，哥氏力(2rt皿(dy／dt))引起质量块的水平振动。该振动可由 丁一型梁上的压阻电桥检测出来。 差。水平振动的幅度D为： 2Q∞dB D= ● 其中Q是水平振动的品质因数．∞L是水平振动的谐振频率。 3)阻尼控制 在设计中，我们把水平梁做得很黍软．并且控制垂