TFT制程及发展趋势.ppt

TFT-LCD產品的基本構成元件 基本構造 背光板(BACK LIGHT) 下偏光片(DOWN POLARIZER) 薄膜基板(TFT SUBSTRATE) 液晶(LIQUID CRYSTAL) 彩色濾光片(COLOR FILTER ) 上偏光片(UP POLARIZER) TFT-LCD 構造剖面圖 TFT-LCD 的顯示原理 ( 一 ) TFT-LCD的顯示原理 ( 二 ) TFT-LCD的顯示原理 ( 三 ) 製造流程概述 ( 二 ) TFT的製造流程概述 ( 一) CELL的製造流程概述 ( 一) CELL的製造流程概述 ( 二 ) 穿透式TFT LCD側視圖 LCD TVs Pure TVs Products manufactured by TV brands and sold through conventional TV distribution (consumer) channel Multi-Function Monitors (MFMs) Other products sold as LCD TVs by PC brands through consumer channel = MFM/CE Other products sold as LCD TVs by PC brands through IT channel = MFM/IT LCD Monitors Products manufactured by PC brands and sold through IT distribution channel 大尺寸TFT-LCD的發展趨勢 LCD TV的定義 * 下偏光片 薄膜(TFT)基板 液晶 電晶體 彩色濾光片 上偏光片 線路 ~ ~ 彩色濾光片 上偏光片 下偏光片 背光源 TFT基板 液晶層 TFT Turn OFF TFT Turn ON 光源經液晶層扭轉90° 彩色濾光片 上偏光片 下偏光片 光源 TFT基板 液晶 TFT-LCD 的驅動原理 紅 藍 綠 黃 白 紫 青 DATA DRIVER IC SCAN DRIVER IC TFT R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B R G B TFT(Array) Thin-Film Transistor LC(Cell) Liquid Crystal LCM Module Array:電晶體 (矩形陣列 ) TFT基板生成 Cell:面板生成 (Panel) Module:產品模組 組裝 製造流程概述 ( 一 ) 薄膜 Thin Film 黃光 Photo Color Filter OK 蝕刻 Etch 測試 Array Test 基板投入 CELL TFT Process BOX 5道光罩 薄膜 黃光 蝕刻 素玻璃 TFT 基板 鍍膜(sputter,cvd) 上光阻(coater) 光罩(reticle) 顯影(developer) 顯影 液 對準,曝光(stepper) 蝕刻(etch) 去光阻液 stripper 去光阻 酸, 氣體 鍍 下 一 層 膜 TFT的製造流程概述 ( 二 ) 上光阻(coating) 鍍第一層膜 空白玻璃 酸, 氣體 光罩 對準,曝光(stepping) 顯影 液 顯影(developing) 蝕刻(etching) TFT的循環製程圖解 1 顯 影 去光 阻液 去光阻(striping) 鍍第二層膜 上光阻 對準,曝光 光罩 顯影 液 酸, 氣體 蝕刻 TFT的循環製程圖解 2 去光 阻液 光阻剝離 鍍第三層膜, 請依之前所 示範的方法 舉一反三,自 行模擬想像 TFT的循環製程圖解 3 TFT 基板(TFT Substrate) 彩色濾光片 (Color Filter) PI 塗佈 PI Coating PI 塗佈 PI Coating 配向 Rubbing 配向 Rubbing Spacer灑佈 Spacer Spray 框膠 Sealant Dispenser 點銀膠 Ag Dispenser 對位 Misalignment 熱壓 Hot press 切割裂片 Scribe Break 液晶注入 LC injection 封口 End sealing 再配向 Isotropic 偏光片貼片 Polarizer Attachment 加壓脫泡 Auto Clave Cell 測