LCD前制程i流程.pptVIP

LCD前制程簡介 STN -LCD是從20世紀80年代初開始發展，至令已有20年的歷史。 STN -LCD從制程上來分為LCP制程與LCM制程。 LCP制程又可分為前制程與後制程。 LCP前制程是整個LCD制程中最重要的制程，它直接掌控LCD良率的高低。 LCP前制程主要可分以下幾個部分： a.圖案制作：在ITO玻璃上，通過光阻塗布、曝光、顯影、蝕刻 及 剝膜制程，得到生產所需的ITO圖案.其制作過程類似於照像。 b.定向處理：在ITO圖案上塗上一層高分子聚合物（PI），固烤後用高速轉動的毛輪在聚合表面摩擦，得到深淺不一有規則的溝槽。 C.基板組合：在一片玻璃基板上絲印框膠，另一片玻璃上撒布SPACER（銀點）。再通過翻轉，按照組合標記，經熱壓固烤成盒（CELL）。 LCD前制程各站作業示意圖 圖案制作 定向處理 基板組合 * 顯影 RUBBING后清洗 印框 SPACER撒布 固烤 基板組合 印銀點 投片 清洗 涂光阻 烘烤 曝光 顯影 烘烤 蝕刻 圖案檢查 去膜 涂布前清洗 PI涂布 預烘 固烤 RUBBING 無機材涂布 UV照射 ＬＣＤ面板前制程制程 圖案制作 定向處理 基板組合 鐳射修補 光阻圖案 ITO 基板 清洗 塗布 光阻 固烤 有機溶劑 爆光 UV光 顯影 光阻圖案 蝕刻 剝膜 ITO圖案 ITO圖案 圖案檢查 T/C 塗布前清洗 無機材塗布 無機材固烤 UV光 PI 塗布 PI 膜 有機溶劑 固烤 UV照射 RUBBING 毛輪 摩擦後清洗 框 膠 基板組合 印框膠 印銀點 銀點 固烤 SPACER撒布 站 組 原 物 料 /設 備 制 程 管 控 點 1.投片 ITO玻璃 四點探針 1. ITO玻璃尺寸 2. ITO玻璃阻值 2.清洗 清洗劑/KOH 清洗烘干機 1.清洗濃度、溫度 2.毛刷下壓力 3.超音波頻率、功率 4.烘十溫度 5. 烘烤時間(傳送速度) 3.涂布光阻 光阻 光阻涂布機 1.膠輥下壓距 2.膠輥轉速 3.光阻滴加速度 4.光阻的粘度 4.烘烤 烘干機 1.烘十溫度 2. 烘烤時間(傳送速度) 5.曝光 曝光機 光罩 1.曝光光量 2.光罩與ITO玻璃之間距 3.UV光之平行度 4.光罩之質量 6.顯影 顯影機 顯影劑/KOH 1.顯影液濃度、溫度 2.顯影時間 7.烘烤 烘干機 1.烘烤溫度 2.烘烤時間(傳送速度) 8.蝕刻 蝕刻去膜機 脫膜劑 1.蝕刻液濃度 2.蝕刻液溫度 3.蝕刻時間(傳送速度) 4.毛刷下壓力 9.圖案檢查 ? ? 10.鐳射修補 鐳射修補機 ? 11.涂布前清洗 清洗機 清洗劑 1.清洗劑溫度 2.清洗劑濃度 3.清洗時間(傳送速度) 12.無機材涂布 PI涂布機 APR板 無機材料(SIO2) 1.下壓距 2.印刷速度（平台） 3.無機材料滴加速度 4.無機材料粘度 13.PI涂布 PI涂布機 APR板 PI 1.下壓距 2.印刷速度（平台） 3.PI滴加速度 4.PI粘度 14.預烘 烘干機 1.預烘溫度 2.預烘時間 15.固烤 固烤機 1.固烤溫度 2.固烤時間 16.UV照射 UV燈 1.UV燈能量 17.RUBBING 摩擦機 絨布 1.下壓距 2.摩擦速度（平台） 3.毛輪轉速 4.摩擦角度 18.RUBBING后清洗 清洗機 19.印框(導通點) 絲印機 框膠(金球/鎳球) ?1.下壓距 2.下壓力 3.膠刮運行速度 4.框膠粘度 20.印銀點 絲印機 銀點料 ?1.下壓距 2.下壓力 3.膠刮運行速度 4.銀點料粘度 21.SPACER撒布 噴粉機 SPACER ?1.噴頭的形狀 2.壓力 22.基板組合 對位組合機 ? 23.固烤 固烤機 ?1.固烤時間 2.固烤壓力 3.固烤溫度 ? LCD前制程各段制程明細 *