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维普资讯 热处理温度对 Pt—WO。薄膜结构和氢敏性能的影响 47 热处理温度对 Pt—WO3薄膜结构和氢敏性能的影响 EffectofHeatTreatmentTemperatureonStructureand Hydrogen—sensingPropertiesofPt—W O3ThinFilms 范小花 ，唐一科 ，侯长军 ，范 瑛。 (1重庆科技学院 安全工程学院，重庆 400042；2重庆大学 ， 重庆 400030；3中国工程物理研究院 结构力学研究所，四川 绵阳 621000) FANXiao—hua，TANGYi—ke ，HOUChang—jun，FANYing。 (1DepartmentofSafetyEngineering；ChongqingInstituteofScienceandTechnology； Chongqing400042，China；2ChongqingUniversity，Chongqing400030，China；3SouthwestInstitute ofStructuralMechanics，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621000，Sichuan，China) 摘要：以钨粉和双氧水为主要原料 ，采用溶胶一凝胶法及旋转涂膜技术在 K9玻璃上制备了WO。纳米薄膜 ，然后用磁控溅 射法在该 WO3薄膜表面溅射掺杂了Pt作催化剂。将此 Pt—WO3薄膜分别在 100～500X2的氮气环境 中进行热处理，用 XRD，AFM，分光光度计等观察 了薄膜的结构和表面形貌 ，分析 了薄膜的微观结构及热处理温度和催化剂含量对薄膜的 结构和氢敏性能的影响。结果表明，薄膜经 400℃ 以下热处理后是非 晶态结构，表面疏松多孔 ，透光率较高，氢敏效果 好 ；经 400~C以上热处理后呈晶态结构，表面粗糙致密 ，透光率较低 ，氢敏效果差 ；催化剂 Pt的含量对薄膜 的氢敏效果有 影 响，当含量为 5％(质量分数)时 ，Pt—w0。薄膜 的氢敏感性能较好 。 关键词 ：氢敏性能；热处理温度 ；Pt—WO。薄膜 ；结构 中图分类号 ：TO 136．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001-4381(2008)07—0047—04 Abstract：Pt—W O3thinfilmshavebeenpreparedwithSol—GelmethodandDC reactivemagnetronsput— teringmethod．AfterannealedinambientN2ati00—500℃ ，themicrostructureandsurfacemorphology ofthefilmswereanalysedwithXRD and AFM ．Theeffectofannealingtemperatureand contentof catalyzer(Pt)on thestructureand hydrogen—sensingpropertieswereexamined．Theresultsshowed thatthePt；W O3thinfilmswhichannealedbelow 400℃ areamorphousandhavegoodhydrogen—sens— ingproperties；Thefilmswhich annealedover400~C arecrystallineand havebad hydrogen—sensing properties；Thepermeatedrayrateandhydrogen—sensitivityofthefilmsdecreasedwithanneal