退火处理对氧化锌透明导电膜的结构和电学特性的影响.pdfVIP

　第 19 卷第 6 期　　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　　　　 . 19, . 6　 V o l N o 　1998 年 6 月　　　　　　 　　　　　　 , 1998　 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S June 退火处理对氧化锌透明导电膜的 结构及电学特性的影响 马　瑾　计　峰　李淑英　马洪磊 ( 山东大学光电材料与器件研究所　济南　250100) 摘要　采用真空蒸发技术, 以醋酸锌和氯化铝作为蒸发物质, 在加热的玻璃衬底上制备出氧化 锌和铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜. 研究了氢气、空气和真空退火处理对制备薄膜的结构及电 学性能的影响. PACC: 6855, 7390 1　引言 氧化锌透明导电膜是一种重要的光电子信息材料, 优良的光电特性使其在压电转换、光 电器件及非晶硅太阳电池等方面得到广泛的应用. 制备氧化锌透明导电薄膜的方法主要有: ( ) [ 1～ 6 ] 溅射法、蒸发法、金属有机物化学汽相沉积法 M OCVD 和高温热解喷涂法 . 纯氧化锌 ( ) [ 7 ] 是一种宽带隙 E g = 3 3eV n 型半导体材料, 适量掺入铝、铟或氟等 , 可有效地提高薄膜的 电导率, 改变薄膜的性能. 制备薄膜的后退火处理可以改变薄膜的结构, 改善薄膜的光电特 性. 我们采用真空蒸发醋酸锌和氯化铝, 在玻璃衬底上制备出了氧化锌(ZnO ) 和铝掺杂的 ( ) [ 3, 4 ] 氧化锌 ∶ 透明导电膜 . 对制备的 和 ∶ 膜进行氢气、空气和真空退 ZnO A l ZnO ZnO A l 火处理, 研究了退火处理对薄膜的结构和光电性能的影响. 2　实验 用两个钨丝加热的石英玻璃舟分别蒸发纯净的醋酸锌和氯化铝, 玻璃基片到蒸发源的 距离为 15cm. 衬底温度从室温到 500 ℃范围内连续可调. 薄膜的性质依赖于衬底温度、源的蒸发速率等生长条件. 醋酸锌的蒸发功率为 30 , 掺 W - 3 杂源的功率为 40 . 设备的基础真空度为 2 ×10 . 对制备薄膜进行氢气、空气和真空退 W Pa 火处理. 氢气退火处理在常压下充满氢气的石英玻璃管中进行. 用X 射线衍射谱和扫描电 马　瑾　男, 1960 年出生, 副教授, 从事氧气物半导体研究 马洪磊　男, 博士生导师, 从事非晶硅和氧气物半导体研究 收到,定稿 6 期　　　　　马　瑾等: 　退火处理对氧化锌透明导电膜的结构及电学特性的影响　　　　　 473 镜研究薄膜的结构, 观察薄膜的形貌, 并对不同条件下制备的薄膜的电阻率随退火温度的变