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7 电容式传感器 第一节 工作原理与类型 第二节 转换电路 第三节 电容式传感器的误差分析 第四节 电容式传感器的应用 第五节 电容式集成传感器 7 电容式传感器 优点： （1）?????? 测量范围大，相对变化量可大于100% （2）?????? 灵敏度高，相对变化量可达10-7 （3）?????? 动态响应时间短 （4）?????? 机械损失小 （5）?????? 结构简单，适应性强，可非接触测量 缺点： （1）?????? 寄生电容影响较大，可降低测量灵敏度，引起非线性输出，也可使传感器处于不稳定工作状态。 （2）?????? 具有非线性输出特性 （3）?????? 与传感器联接的线路比较复杂 第一节 工作原理与类型 一、工作原理 两个金属板间的电容为 第一节 工作原理与类型 （一）变极距（δ）型电容传感器 （一）变极距（δ）型电容传感器 由上面两式知，δ 0减少可使灵敏度K增大，但非线性误差也增大。因此常采用差动式结构，以提高灵敏度，减少非线性误差。 第一节 工作原理与类型 （二）变面积（S）型电容传感器 1.角位移式 （二）变面积（S）型电容传感器 3.圆柱形 第一节 工作原理与类型 （三）变介电常数（ε）型电容传感器 1.电容液位计 （三）变介电常数（ε）型电容传感器 2.用于测量厚度或介电常数的变介质传感器 第二节 转换电路 一、电容式传感器等效电路 一、电容式传感器等效电路 有效电容Ce可由下式近似计算： 第二节 转换电路 二、测量电路 1.电桥电路 电容电桥的主要特点有： (1)高频交流正弦波供电 (2)电桥输出调幅波，要求电源电压波动极小，需采用稳幅、稳频等措施 (3)通常处于不平衡工作状态，所以传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大，且在要求精度高的场合应采用自动平衡电桥 (4)输出阻抗很高（一般可达几MΩ到几十MΩ），输出电压低，必须后接高输入阻抗，高放大倍数的处理电路。 二、测量电路 2.二极管双T形电路 2.二极管双T形电路 在[R+(RRL)/(R+RL)]C2T/2时,电容C2的平均电流为 二极管双T形电路特点 （1）线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响 （2）电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定 （3）输出阻抗为R，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点，且输出电压较高，因此适当选择电阻R，则输出电流可用毫安表或微安表直接测量； （4）适用于具有线性特性的单组式和差动式电容传感器 （5）工作电平很高，二极管VD1和VD2都工作在特性曲线的线性区内； （6）输出信号的上升时间取决于负载电阻。对应于1KΩ的负载电阻，上升时间为20微秒左右，因此它能用来测量高速机械运动。 二、测量电路 3.差动脉冲调宽电路 3.差动脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路特点 不需附加解调器，即能获得直流输出，输出信号为100KHZ到1MHZ的矩形波，所以直流输出只须经低通滤波器简单引出，对输出波形纯度要求不高；只需一电压稳定度较高的直流电源，要求比较低。 二、测量电路 4.运算放大器式电路 4.运算放大器式电路 第三节 电容式传感器的误差分析 一、温度对结构尺寸的影响 电容器的电容变化如下式所示 C=C0+ΔCP+ΔCT 第三节 电容式传感器的误差分析 二、温度对介质介电常数的影响 空气及云母介电常数的温度系数可认为等于零，而某些液体介如煤油、硅油、蓖麻油、甲基硅油等就必须注意由此引起的误差。 温度误差一般可用后接的测量电路进行一定的补偿，但完全消除是困难的。 三、电容电场的边缘效应 第三节 电容式传感器的误差分析 四、寄生与分布电容的影响 1.缩短传感器到测量电路前置级的距离 2.驱动电缆法 第三节 电容式传感器的误差分析 3.整体屏蔽法 将整个桥体（包括供电电源及传输电缆在内）用一个统一屏蔽保护起来。而其关键则在于正确地选取接地点 第三节 电容式传感器的误差分析 五、漏电阻的影响 电容传感器的容抗都很高，特别是在激励电压较低时。因此在与测量线路配接时，当两极板间总的漏电阻与此容抗相近时，就必须考虑分路作用对系统总灵敏度的影响，它将使灵敏度下降。 为了克服这一分路造成的不良后果，应认真选取两极板间支架材料，激励频率越低，所选材料的绝缘性能要越好。此外支架沿面的漏电阻也要特别注意，为此，在装配传感器时要先对零件进行清洗、烘干后再装配。当然，适当在提高激励电源的频率也可以降低对材料绝缘性能的要求，但在某些情况下，频率增高也受限制，例如在对寄生电容影响抑制不强的线路中工作时就是这样。 第四节 电容式传感器的应用 一、电容式差压变送器 第四节 电容式传感器的应用 二、电容式测微仪 第四节 电