传感器：第三章 电容式传感器.pptVIP

代入前式得到 如果是变面积式差动电容 则 （三）差动脉冲宽度调制电路 电路如图。 前面图中： 设 ，得 从上式可看出，不论是变间隙差动传感器还是变面积差动传感器输出也都是线性的。 （四）运算法测量电路 电路见下图。考虑运放的 “虚断”“虚短”效应有 由于 于是 对于变间隙式传感器输出为线性，如果是变面积式传感器，可以交换 和 ，于是 同样输出与输入成线性关系。 可以实现调零的运算法电路如下。设电位器左右两边总电阻之比为 则 取 得 一、温度对结构尺寸的影响 如图，随温度变化电容间距 3.3 电容式传感器的误差分析 要实现温度补偿，只需 考虑 代入前式，得 整理后 由上式可以看出，温度误差与零件的几何尺寸，结构形式以及材料的温度系数有关。 2006.9.25 JC204- 二、电容器电场的边缘效应 平板电容的计算公式是 基于两极板间为匀强电 场。当考虑电容边缘电 场分布不均匀时，边缘 效应相当于传感器并联 了一个附加电容，会引 起传感器的灵敏度下降 和非线性增加。增大初 始电容和增加等电位环 可以改善边缘效应。 三、寄生与分布电容的影响 电容式传感器除有极板间电容外，极板与周围物体也会产生电容，这种电容称为寄生电容。寄生电容极不稳定，要消除寄生电容可采用屏蔽措施，将电容器极板