第2章位移检测传感器之电容式.pptVIP

第二章 位移检测传感器 5月2日第二大节结束 变面积型电容位移传感器可用于线位移测量，也可用于角位移测量。 根据不同需要采用平板型极板、圆筒型极板或锯齿型极板 这类传感器输入/输出具有线性特性 当有效覆盖从S0 变至 S，则 课堂练习 14、电容式传感器的电容量是其极板面积、（ ）、和极板间介质的介电常数的函数。（练一） 14、电容式传感器的电容量是其极板面积、（ 极板间隙 ）、和极板间介质的介电常数的函数。 35、画出变极距型电容位移传感器测量线位移的原理示意图，并分析小位移测量的灵敏度。(单元一） 15、把电容式位移传感器做成差动形式，即可以提高测量（ ），又可以使零点附近工作特性的线性度得到改善。（模拟二） 15、把电容式位移传感器做成差动形式，即可以提高测量（ 灵敏度 ），又可以使零点附近工作特性的线性度得到改善。 4、电容式测厚仪应用的传感器属于（模拟三） A.容栅式电容传感器 B.变极距型电容传感器 C.变介质型电容传感器 D.变极板面积型电容传感器 4、电容式测厚仪应用的传感器属于 C.变介质型电容传感器 15、变极距型电容位移传感器只有在（ ）测量时，其灵敏度才为常数。 15、变极距型电容位移传感器只有在（小位移）测量时，其灵敏度才为常数。 31、某变极距型位移传感器的极板直径为D=10mm,极板间介质的相对介