电活性聚合物薄膜柔性谐振子的机-电耦合特性和实验研究.pdfVIP

电活性聚合物薄膜柔性谐振子的机一电耦合特性与实验研究 张冬至1，z+，崔天宏2 1、(中国石油大学(华东)信息与控制工程学院，山东青岛，266555) 2、(明尼苏达大学机械工程系，美国明尼阿波利斯，55455) 电活性聚合物(Electro—active polymer，EAP)作为一种新型高分子智能材料，因其独特的 电学及机械性能而崭露锋芒Il’21。聚偏氟乙烯(PVDF)作为电活性聚合物研究和应用的典型 代表，适合制作用于动态测量的智能化柔性薄膜谐振子，以作为传感器、执行器及MEMS 器件的核心元件【3】。但EAP薄膜振子动力学行为和机电耦合特性受到其刚度和张力影响， 经典理论模型将不适用。对作为关键元件的EAP薄膜柔性振子的机．电耦合特性进行理论与 实验研究，建立并完善其特征化描述模型，成为亟待解决的基础性课题之一。 电活性聚合物薄膜因其良好的机．电耦合特性可实现机械与电能的能量转换(如图1所 示)，用于制备薄膜谐振器及电活性MEMS器件。基于薄膜器件新进展提出的柔性薄膜振动 问题，采用电活性PVDF薄膜被覆银墨电极制备了EAP柔性圆膜谐振子，其截面及俯视结构如 图2所示。建立了描述圆形薄膜振子在弯曲刚度D和张力T共同作用下的动力学基本方程，提 出了四周固支圆膜谐振子的振动行为模型及其特征化描述模型。图3(a-b)分别为电活性聚合 物薄膜谐振子的基频与其杨氏模量及张力一刚度mD)比入的二维及三维数值模拟结果，并采用 ANSYs验证了EAP薄膜谐振子的前四阶谐振频率理论分析的正确性，如图3(c)所示。基于有限 元理论模型与激光多普勒技术，对EAP薄膜谐振子的前四阶共振模态振型进行了模拟和实测 研究，如图4所示。在第一阶模态下，薄膜的振动呈上下起伏状；在第二阶模态下，薄膜呈 左右两侧对称性上下起伏振动：在第三阶模态下，薄膜振动呈对角性褶皱状；在第四阶模态 下，薄膜呈翘曲状复合振动。实验测得的共振模态振型与ANSYS仿真模态振型吻合，表明采 用激光多普勒技术测定EAP薄膜谐振子的振动性能是完全可行的，其压电激励一激光拾振动态 测试系统如图5(a)所示。采用不同的驱动电压信号对EAP柔性薄膜谐振子进行动态扫频测试， 测得其幅频曲线如图5(b)所示，表明不同幅值的电信号不改变其谐振频率，但振动幅值位移 nm。 量相对于驱动电压的变化呈良好的线性关系，1V马区动电压变化量对应的位移量为21．6 此外，基于激光测振仪研究了圆膜谐振子几何尺寸对谐振频率的影响，图5(c)为不同半径的 EAP薄膜谐振子的幅频曲线，图5(d)给出了EAP薄膜振子的谐振频率与振予半径R关系，为研 究EAP薄膜谐振子的机．电耦合特性奠定了理论基础和实验验证。 本文基于理论仿真和实验验证的方法，对电活性聚合物薄膜柔性谐振子的动力学行为、 模态振型及谐振性能进行了全面描述，揭示了EAP薄膜谐振子的工作机理及模式，为研发 以柔性谐振子为核心元件的新型薄膜传感器、执行器及MEMS器件等奠定理论与实验基础。 关键词：电活性聚合物；机一电耦合；薄膜谐振子：柔性振子；模态振型 参考文献： all at．Anactive schemewithelectroactive 【1】kRen,Y．Liu，H．Hofmann，etenergyharvesting polymer【J】， PhysicsLetters，2007，91(13)：132910-132910-3． Applied switchesoilflexible substrateforelectro-active 【2】S．P．Lacour,S．Wagner,R．Pelrhe，etal一5-kV plastic polymer Research Conference，2003，83-84． actuators【C】，Device a