霍耳式传感器.doc
霍耳式传感器
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霍耳式传感器是基于霍耳效应将被测量如电流、磁场、位移、压力、压差和转速转换成电动势输出的一种传感器。虽然它的转换效率低,温度影响大,要求转换精度较高时必须进行温度补偿,但霍尔式传感器结构简单,体积小,坚固,频率响应宽(从直流到微波),动态范围(输出电动势必的变化)大,非接触,使用寿命长,可靠性高,易于微型化和集成化,因此在测量技术、自动化技术和信息处理等方面得到了广泛运用。
一、霍耳效应
如图1所示,一块长为、宽为、厚为的N型半导体簿片,位于磁感应强度为B的磁场中,B垂直于-平面。沿通电流I,N型半导体中载流子——电子将受到B产生的洛伦兹力FB的作用。
在力FB的作用下,电子向半导体片的一个侧面偏转,在该侧面上形成电子的积累,而在相对的另一侧面上因缺少电子而出现等量的正电荷。在这两个侧面上产生霍耳电场EH,相应的电势称为霍耳电势UH。
半导体中电子受到的洛伦兹力FB为
(1)
式中——半导体电子运动的速度;
——电子的电荷量。
霍耳电场产生的电场力FH为
(2)
霍耳电场阻止电子继续偏转,当电场力FH与磁场力FB相同时,电子积累就达
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