梯度掺杂技术生长绒面结构ZnO-TCO+薄膜及其特性的研究.pdfVIP

第 12 届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文（硅基薄膜太阳电池） 梯度掺杂技术生长绒面结构梯度掺杂技术生长绒面结构 ZnO-TCO 薄膜及其特性研究薄膜及其特性研究+ 梯度掺杂技术生长绒面结构梯度掺杂技术生长绒面结构 薄膜及其特性研究薄膜及其特性研究 * 陈新亮 ，闫聪博，耿新华，杨旭，张德坤，魏长春，赵颖，张晓丹 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市 重点实验室 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300071 摘要：摘要：研究适合高效率率宽谱域太阳电池用透明导电氧化物（TCO ）薄膜材料是当前光伏领域的研究热点 摘要摘要：： 及重点。MOCVD 技术是一种生长太阳电池用绒面结构 ZnO-TCO 薄膜的主流技术，绒面结构可以提高薄 膜太阳电池效率和稳定性，从而降低生产成本。实验中源材料采用二乙基锌（DEZn ）和水（H O ），而掺 2 杂剂硼烷（B H ）气体。MOCVD 制备绒面 ZnO-TCO 薄膜过程中提出一种梯度 B 掺杂生长技术，即通过 2 6 逐渐改变 B H 的掺杂量改善 ZnO 薄膜的在可见光及近红外区域（~380-1500nm ）的光学透过特性，并维 2 6 持较好的电学性能。此外，梯度掺杂技术可以调整 ZnO 薄膜的晶粒特征，改善薄膜的光散射特性。通过优 化薄膜生长过程，在掺杂量为（0+3.0 ）sccm 时获得薄膜综合性能相对较好的ZnO:B 薄膜，此时薄膜的方 块电阻为~11.9Ω，晶粒尺寸为~500 nm，可见光透过率85% ，近红外区域透过率80% 。此种新型梯度掺杂 技术具有良好的工艺兼容性，可适用于于产业化推广应用。 关键词：关键词：MOCVD ，ZnO-TCO 薄膜，绒面结构，梯度掺杂技术，薄膜太阳电池 关键词关键词：： 1 引言引言 引言引言 的前提下，调制 ZnO:B-TCO 薄膜表面微观结构和 ZnO 透明导电氧化物薄膜（ZnO-TCO ）是一种 光学性能，尤其是改善近红外区域的光学透过率， II-VI 族、直接宽带隙半导体材料，其晶体结构呈现 以适应宽光谱薄膜太阳能电池的应用。同时，这种 六方纤锌矿结构。相比于 In O 和 SnO ，ZnO-TCO 新薄膜生长工艺技术具有工艺兼容性好，易于操控 2 3 2 薄膜具有原材料丰富和清洁无污染特点，同时具有 和可以实现大面积产业化生产等优势。 良好的光电性能和强抗H 等离子体还原的能力，因 2 实验方法实验方法 此，逐渐成为硅基薄膜太阳电池的重要组成部分 实验方法实验方法 [1-2] 。绒面结构ZnO-TCO 薄膜应用于薄膜太阳能电 LP-MOCVD 技术生长ZnO:B-TCO 薄膜实验过 池中可形成良好的“陷光效应”，从而提高薄膜太阳 程中，衬底为玻璃，生长温度～150℃，反应源为 电池的短路电流和稳定性。金属有机化学气相淀积 二乙基锌（DEZn ）和水汽（H2O ），掺杂源为硼烷 技术（简称：MOCVD 技术）能够低温（～150℃） （B H ），其流量变化0sccm～10sccm，薄膜生长时 2 6 直接生长出绒面结构 ZnO-TCO 薄膜，且生长速率 间～35min 。“梯度掺杂”技术指在薄膜生长的不同