真空系统检漏仪器和技术.pdf

真空设备制造工艺技术标准规范全书 $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ 第四章 真空系统检漏仪器和技术 第一节 概 述 一、真空系统中漏气、虚漏与抽气之间的平衡 真空系统中漏气流量的平衡表示式如下 ! （ ） （ ） ! $ % !$ % ! # ’ ! # 式中 ———系统达到的压力； ! ! ———真空泵的极限压力； # ———系统的有效抽速； $———由系统外部流向系统内部的总漏率； !$ ———虚漏所形成的总 “漏”率。 所谓虚漏，其来源是多方面的，如真空系统结构材料表面的出气，试验物或工件的 出气，系统内各种材料的蒸气，气体通过器壁向系统内的渗透以及系统的死空间中气体 的流出等。 检漏中应注意区分 与 。相对虚漏 而言，漏气 也可称为实漏。在不 $ !$ !$ $ 特别加以说明时，所说的漏气都是指实漏。 对于与真空泵隔离开的密封容器或器件 （如电子管、半导体器件等）来说，# $ ， 这时若 ，则式 （ ）变成 ! ! # % ! ! （ ） ! ! % [ $ ( % ( $ *( ) ] # ’ ( ! ) # 式中 ———封离后所经历的时间； ( )———密封容器的总体积； ———经历时间 后系统 （或容器）中的压力； + ( ( ， ， 与式 （ ）相同。 ! $ $ # % ! 二、最大允许漏率 真空系统或真空容器的漏气是绝对的，不漏气是相对的。真空检漏技术中所指的 — !’ — 第十一篇 真空设备生产制造检测试验与检漏技术 $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ “漏”的概念，是和最大允许漏率的概念联系在一起的。 对于动态真空系统来说，只要真空系统的平衡压力能达到所要求的真空度，这时即 使存在着漏孔，也可认为系统是不漏的。 对于静态真空系统来说，则要求在一定的时间间隔内，系统内的压力能维持在所允 许的真空度以下，同样也可认为系统是不漏的。 动态系统当 时，式 （ ）可改写成 ! !! ! # $ $ （ ）