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第七章 场致发射显示器（FED） 第七章 场致发射显示器（FED） 场致电子发射的原理 场致电子发射的原理 FED的构成及制作工艺 FED的 SED显示技术 1 1 7.1 场致发射 7.1 场致发射 场致发射显示器件 (Field Emission Display， 场致发射显示器件 (Field Emission Display， FED)是显示与真空微电子相结合的产物，是发光 FED)是显示与真空微电子相结合的产物，是发光 原理最接近CRT的一种平板显示器件。 原理最接近CRT的一种平板显示器件。 真空微电于的概念最早出现在20世纪60年代初， 真空微电于的概念最早出现在20世纪60年代初， 其真实含义是将真空电子器件的尺寸做到微米 其真实含义是将真空电子器件的尺寸做到微米 级，与当时的半导体器件相当，并具备真空器件 级，与当时的半导体器件相当，并具备真空器件 的独特优势，当然也可以实现器件的集成。 的独特优势，当然也可以实现器件的集成。 这类器件只能用微型场发射冷阴极，因此真空微 这类器件只能用微型场发射冷阴极，因此真空微 电子技术是和场发射紧密相连共同发展的。 电子技术是和场发射紧密相连共同发展的。 2 2 问题的铺垫 问题的铺垫 从固体中发射出（自由）电子按原理分 从固体中发射出（自由）电子按原理分 主要有： 主要有： 1 、热电子发射 1 、热电子发射 ——传统CRT的原理 ——传统CRT的原理 2 、场致电子发射 2 、场致电子发射 ——新技术核心 ——新技术核心 3 3 热电子发射是靠升高物体温度-给发射体内部的电 子以附加能量，使一些电子越过发射体表面势垒 逸出而形成的电子发射方式。这种方式的发射能 耗高，同时还有时间的延迟性。 场致发射需要提供给体内电子以额外的能量，而 是靠强的外加电场来压抑物体的表面势垒，使表 面势垒的高度降低，宽度变窄，这样发射体内的 大量电子由于隧道效应穿透表面势垒逸出形成场 致电子发射。它没有时间延迟，功耗低，是一种 非常有效的电子发射方式。 4 4 Field Electron Emission Field Electron Emission Field emission from metal 5 5 场致发射理论